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一种结构可调的MPCVD生长基台 

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申请/专利权人:成都稳正科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种结构可调的MPCVD生长基台,属于MPCVD生长基台技术领域,其技术方案要点包括基台本体,所述基台本体的内壁固定连接有隔板,所述隔板的数量为三个,所述基台本体的内部设置有限位机构,所述限位机构的数量为若干个,所述基台本体底部的四角均设置有调节柱;所述限位机构包括限位板、限位柱和两个滑块,所述限位柱的底部穿过限位板且与隔板的顶部紧密接触,解决了现有的大部分MPCVD生长机用的基台不具备对放置籽晶的金属容器进行限位,当移动基台将基台顶部放置籽晶的金属容器进行取出时,放置籽晶的金属容器容易在基台顶部发生位移甚至掉落,并且不方便将基台调整至水平状态,从而影响使用效果的问题。

主权项:1.一种结构可调的MPCVD生长基台,包括基台本体1,其特征在于:所述基台本体1的内壁固定连接有隔板3,所述隔板3的数量为三个,所述基台本体1的内部设置有限位机构4,所述限位机构4的数量为若干个,所述基台本体1底部的四角均设置有调节柱6;所述限位机构4包括限位板401、限位柱402和两个滑块403,所述限位柱402的底部穿过限位板401且与隔板3的顶部紧密接触,所述限位柱402的表面与限位板401的内部螺纹连接,所述滑块403靠近限位板401的一侧与限位板401固定连接。

全文数据:

权利要求:

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