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申请/专利权人：温州大学
摘要：本发明提供一种在着色PMMA材料表面制造微流控通道的近红外激光烧蚀方法及微流控芯片，本方法选取深色PMMA板材代替常规透明PMMA板材作为微流控通道的加工底板，极大地增加了PMMA底板对近红外激光的吸收率，使原本难以用于微流控通道制造的近红外激光，凭借高吸收率和热积累，可以在深色PMMA表面制造微通道。通过对激光光斑大小、离焦量、输出功率、脉冲频率、光斑运动轨迹和速度的控制，制造不同形状和不同深宽尺寸的微流控通道；本方法兼顾微通道激光制造的加工精度和加工效率，相较现有的CO2激光制造法，有更大的通道尺寸加工范围和更高的加工精度；相较现有的准分子激光和fs激光制造法，有更高激光烧蚀率和加工效率。
主权项：1.一种在着色PMMA材料表面制造微流控通道的近红外激光烧蚀方法，其特征在于：采用深色PMMA板材作为激光烧蚀微流控通道的底板；利用近红外激光束通过f-θ振镜系统入射至所述深色PMMA板材表面，设定激光扫描路径和激光加工参数，在材料表面快速制造所需形状和深宽尺寸的通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 温州大学 一种在着色PMMA材料表面制造微流控通道的近红外激光烧蚀方法及微流控芯片
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