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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日：2024-03-11
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118190975A
主分类号：G01N23/04
分类号：G01N23/04;G01N23/20008;G01N1/28
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明涉及一种异质界面的TEM制样方法，通过对机械手延伸的方法解决了现有技术存在的问题，能够精准控制机械手的延伸长度，延伸长度可在几至几十微米的范围内选择，本文中机械手延伸长度通过控制挖槽宽度和U切，利用机械手在空间旋转180°将延伸长条宽度变成机械手延伸长度，实现机械手延伸长度的精准控制。用延伸后的机械手进行TEM制样避免了因为高低差造成的无法取样，或裂片以后额外增加将界面打磨平整的步骤。本发明无需破真空和打磨操作，实现了高效率的TEM样品制备。
主权项：1.一种TEM样品的制备方法，包括：1将样品进行裂片，侧贴放入机台，放入TEM样品的载网及用于机械手延伸的材料；2观察样品并判断样品高低差的位置，将高的一面放在机械手插入的方向，低的一面放在针插入的方向；3在样品目标区域沉积第一保护层，第一保护层表面沉积并覆盖第二保护层；4采用离子束开槽；5对样品进行U切；6在延伸材料上镀保护层，开槽，U切，得到延伸长条，并将其焊接到机械手，并将机械手旋转；7回到样品的位置，插入针和机械手对样品焊接、提取、旋转转移样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种异质界面的TEM制样方法
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