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申请/专利权人：上海大学
申请日：2024-04-11
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118192107A
主分类号：G02F1/11
分类号：G02F1/11;G02F1/21
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种掺钪氮化铝脊波导声光调制器及其制备方法，属于声光调制技术领域，包括从下到上依次布置的硅衬底、包层、种子层、掺钪氮化铝半刻蚀脊波导层和压电换能器，所述掺钪氮化铝半刻蚀脊波导层为马赫‑曾德尔干涉仪的结构，所述压电换能器使用叉指电极结构，叉指电极布置在掺钪氮化铝半刻蚀脊波导两臂中间。本发明通过使用掺钪氮化铝材料制备声表面波声光调制器，氮化铝掺钪后提升了器件的压电系数和机电耦合系数，能更高效的产生声表面波，实现更强的调制效率。
主权项：1.一种掺钪氮化铝脊波导声光调制器，其特征在于，包括从下到上依次布置的衬底、包层、种子层、掺钪氮化铝半刻蚀脊波导层和压电换能器，所述掺钪氮化铝半刻蚀脊波导层为马赫-曾德尔干涉仪的结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种掺钪氮化铝脊波导声光调制器及其制备方法
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