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申请/专利权人：艾斯泰克私人有限责任公司;艾斯泰克集团控股有限公司
摘要：一种光源，其中辐射等离子体由CW激光器的聚焦光束维持在充气腔室中。气体是纯度至少为99.99％的惰性气体。腔室包含金属壳体，该金属壳体具有由MgF2制成的用于输出等离子体辐射的至少一个窗口。每个窗口均位于套筒的端部上的壳体的孔内，并且通过玻璃胶焊合至套筒，并且每个套筒均在外侧接缝上焊接至金属壳体的孔。套筒和壳体均由合金制成，该合金的线性热膨胀系数CLTE与MgF2晶体的在垂直于MgF2晶体的光轴的方向上的CLTE相匹配。技术效果在于将光源的辐射光谱扩展至VUV区域。
主权项：1.一种激光泵浦等离子体光源，包括：腔室，所述腔室填充有高压气体；用于等离子体点火的装置；辐射等离子体区域，所述辐射等离子体区域由连续波CW激光器的聚焦光束维持在所述腔室中；射出所述腔室的至少一个等离子体辐射束，所述腔室包含金属壳体，所述金属壳体具有用于将所述CW激光器的光束引入所述腔室中的窗口以及具有用于从所述腔室输出等离子体辐射束的至少一个窗口；其中所述CW激光器的光束通过安装在所述腔室中的位于所述窗口与所述辐射等离子体区域之间的透镜聚焦，所述气体属于纯度至少为99.99％的惰性气体或是惰性气体的混合物，用于输出所述等离子体辐射束的至少一个窗口由结晶氟化镁MgF2制成，每个窗口均位于所述腔室的内侧上且位于套筒的最靠近所述辐射等离子体区域的端部上，所述套筒位于所述壳体的孔内，每个窗口均通过玻璃胶焊合至所述套筒，并且焊合有所述窗口的所述套筒焊接至所述金属壳体的所述孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾斯泰克私人有限责任公司 艾斯泰克集团控股有限公司 宽带激光泵浦等离子光源
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