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申请/专利权人：佛山华智新材料有限公司
申请日：2022-12-14
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118186359A
主分类号：C23C14/58
分类号：C23C14/58;C23C14/16;C25D3/38;C23C14/02;C23C14/06
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本申请涉及一种金属基金刚石复合材料的制作方法，包括如下步骤：提供金属基金刚石复合材料的坯体；通过物理气相沉积形成覆盖坯体的顶面的第一物理气相沉积层以及覆盖坯体的底面的第二物理气相沉积层，并进行热处理；在第一物理气相沉积层远离坯体侧的表面通过电镀形成第一电镀层，在第二物理气相沉积层远离坯体侧的表面通过电镀形成第二电镀层，第一电镀层和第二电镀层分别覆盖第一物理气相沉积层和第二物理气相沉积层。上述方法制作得到的金属基金刚石复合材料更容易进行后续加工、易于磨削、粗糙度更好控制，具有良好的耐用性和稳定性，与芯片焊接后得到的电子元器件的产品稳定性更高。
主权项：1.一种金属基金刚石复合材料的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：提供金属基金刚石复合材料的坯体；通过物理气相沉积形成覆盖所述坯体的顶面的第一物理气相沉积层以及覆盖所述坯体的底面的第二物理气相沉积层，并进行热处理；在所述第一物理气相沉积层远离所述坯体侧的表面通过电镀形成第一电镀层，在所述第二物理气相沉积层远离所述坯体侧的表面通过电镀形成第二电镀层，所述第一电镀层和所述第二电镀层分别覆盖所述第一物理气相沉积层和所述第二物理气相沉积层；所述第一物理气相沉积层和所述第二物理气相沉积层各自独立地有一层或多层，且与所述坯体相紧邻的所述第一物理气相沉积层和所述第二物理气相沉积层的材料包括铬元素以及硼元素中的至少一种元素；所述第一电镀层和所述第二电镀层各自独立地有一层或多层，且与所述第一物理气相沉积层相紧邻的所述第一电镀层和与所述第二物理气相沉积层的相紧邻的所述第二电镀层的材料选自纯铜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山华智新材料有限公司 金属基金刚石复合材料及其制作方法、电子元器件
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