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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司

摘要：本发明涉及基板抛光技术领域，公开了一种装配工装及柔性膜装配方法。该装配工装包括底座和盖体。底座设置有定位槽和环形定位凸台，定位槽呈圆柱状，环形定位凸台和定位槽均与底座同轴设置，柔性膜适于设置于定位槽内，环形定位凸台适于插设于第一安装槽内；盖体适于与底座连接，盖体设置有第一定位孔和第一避让槽，第三安装槽适于为将内密封边缘按压入第三安装槽内提供避让空间，第一定位孔与定位槽同轴设置，连接轴穿设于第一定位孔时，第一定位孔与连接轴同轴设置。通过盖体和底座，保证了柔性膜、夹具、夹具盖与连接件的同轴连接，确保了环形腔室区与内部腔室区的压力均匀，提高研磨头的稳定性，进而提高基板研磨良率。

主权项：1.一种装配工装，用于研磨头的装配，所述研磨头包括柔性膜100、夹具200、夹具盖300和连接件400，所述柔性膜100包括膜本体101、内密封边缘102和外密封边缘103，所述夹具200设置有第一安装槽201和第二安装槽202，所述第一安装槽201与所述第二安装槽202与所述夹具200同轴设置，所述外密封边缘103适于设置于所述第二安装槽202，所述连接件400包括连接盘401和连接轴402，所述连接轴402设与所述连接盘401的一侧面同轴连接，所述连接盘401适于设置于所述膜本体101内侧，所述连接盘401与所述连接轴402连接的一侧面设置有第三安装槽4011，所述内密封边缘102适于设置于所述第三安装槽4011，所述夹具盖300设置有连接孔301，其特征在于，包括：底座1，设置有定位槽11和环形定位凸台12，所述定位槽11呈圆柱状，所述环形定位凸台12和所述定位槽11均与所述底座1同轴设置，所述柔性膜100适于设置于所述定位槽11内，所述环形定位凸台12适于插设于所述第一安装槽201内；盖体2，适于与所述底座1连接，所述盖体2设置有第一定位孔21和第一避让槽22，所述第三安装槽4011适于为将内密封边缘102按压入所述第三安装槽4011内提供避让空间，所述第一定位孔21与所述定位槽11同轴设置，所述连接轴402穿设于所述第一定位孔21时，所述第一定位孔21与所述连接轴402同轴设置。

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