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申请/专利权人：中山大学
申请日：2024-03-18
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118186344A
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种新型空穴传输层碲化锌的制备方法，该方法包括以下步骤：将Si片清洗后放入热蒸发镀膜机的腔体上方，关闭挡板，在腔体下方连接钨舟，钨舟上放置ZnTe粉末，抽真空；控制通过钨舟的电流和电压来调控生长速率，打开腔体挡板生长相应厚度的薄膜；关闭热蒸发镀膜机并取样，用氮气清洁表面。通过热蒸镀生长的ZnTe薄膜的价带和n‑Si衬底价带具有较低的价带带阶，从而可以提升空穴传输性能；因ZnTe的p型可掺杂性，可以使用金属对其功函数进行一定的调控，提升其电荷输运能力。
主权项：1.一种新型空穴传输层碲化锌的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将Si片清洗后放入热蒸发镀膜机的腔体上方，关闭挡板，在腔体下方连接钨舟，钨舟上放置ZnTe粉末，抽真空；控制通过钨舟的电流和电压来调控生长速率，打开腔体挡板生长相应厚度的薄膜；关闭热蒸发镀膜机并取样，用氮气清洁表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种新型空穴传输层碲化锌的制备方法
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