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申请/专利权人：清软微视(杭州)科技有限公司
申请日：2024-01-31
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118197958A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种晶圆缺陷检测设备，晶圆缺陷检测设备包括：物镜组件和明场晶圆缺陷检测装置，物镜组件用于获取待检测物在明场光源下的第一图像；明场晶圆缺陷检测装置包括：第一镜头组件、第一分光组件和明场照明组件，明场照明组件包括明场发光件和设置在明场发光件出光侧的狭缝板，狭缝板的位置可调，狭缝板上设置有长条形的狭缝孔。根据本发明实施例的晶圆缺陷检测设备，通过在明场发光件的出光侧设置有可以调整位置的狭缝板，可以过滤明场发光件发出的杂光，可以使得携带有第一图像二次成像的信息的明场反射光束的截面形状为与第一相机的感光面同样大小的条形光，能进一步提高第一相机的拍摄效果。
主权项：1.一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，包括：物镜组件，所述物镜组件用于获取待检测物在明场光源下的第一图像；明场晶圆缺陷检测装置，所述明场晶圆缺陷检测装置包括：第一镜头组件，用于对所述第一图像进行二次成像，所述第一镜头组件还包括第一相机，所述第一相机用于接收经二次成像后的所述第一图像；第一分光组件和明场照明组件，所述明场照明组件用于发出所述明场光源，所述明场光源的光束经所述第一分光组件及所述物镜组件后出射至待检测物上以形成明场照明光路；所述第一分光组件能够将所述明场照明光路进行导向以使所述明场照明光路进入所述物镜组件，所述第一分光组件能够将所述第一图像的传输光路进行导向以使所述第一图像能够二次成像至所述第一镜头组件；其中，所述明场照明组件包括明场发光件和设置在所述明场发光件出光侧的狭缝板，所述狭缝板的位置可调，所述狭缝板上设置有长条形的狭缝孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清软微视(杭州)科技有限公司 晶圆缺陷检测设备
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