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申请/专利权人：深圳市昇维旭技术有限公司
申请日：2024-03-05
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118189036A
主分类号：F17C9/02
分类号：F17C9/02;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本公开提供一种供气装置及半导体处理设备，包括：容纳非气态原料的原料容器、设于原料容器的转化器、与原料容器相连的缓存容器、压力计、主控器、进气阀门和输送阀门，转化器用于使非气态原料物理变化成气态原料；缓存容器用于暂存从原料容器输送的气态原料，进气阀门用于控制原料容器向缓存容器输送气态原料，输送阀门用于控制缓存容器向半导体反应腔室输送气态原料，主控器与压力计和进气阀门通信连接，用于在压力计检测到缓存容器内的气压低于第一目标值时控制进气阀门处于打开状态或调大进气阀门的开度，在压力计检测的气压达到第二目标值时控制进气阀门处于关闭状态。本方案可保证供气装置输出气流的稳定性，以提高多批次产品生产良率。
主权项：1.一种供气装置，其特征在于，包括：原料系统，包括原料容器和设于所述原料容器上的转化器，所述原料容器用于容纳非气态原料，所述转化器用于使所述原料容器中的非气态原料物理变化成气态原料；缓存系统，包括缓存容器、进气阀门和输送阀门，所述缓存容器与所述原料容器相连接，用于暂存从所述原料容器输送的所述气态原料，所述进气阀门用于控制所述原料容器向所述缓存容器输送所述气态原料，所述缓存容器与半导体反应腔室相连接，所述输送阀门用于控制所述缓存容器向所述半导体反应腔室输送所述气态原料；压力计，设于所述缓存容器上，用于检测所述缓存容器内的气压；主控器，与所述压力计和所述进气阀门通信连接，并用于在所述压力计检测的气压低于第一目标值时控制所述进气阀门处于打开状态或调大所述进气阀门的开度，在所述压力计检测的气压达到第二目标值时控制所述进气阀门处于关闭状态，所述第二目标值大于所述第一目标值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市昇维旭技术有限公司 供气装置及半导体处理设备
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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