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申请/专利权人：咸阳华光窑炉设备有限公司
申请日：2023-10-24
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192319U
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/24;C23C16/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种具有均匀供气的沉积回转炉，具体涉及沉积回转炉领域，包括支撑架，所述支撑架的顶部设置有炉管主体，所述炉管主体的外侧设置有加热炉体；本装置在使用时，提高了气相沉积炉的效率，实现反应气体在炉管径向轴向动态过程全覆盖，同时多路混合气体出口处均设置多个辐射状管道，形成多孔射流效应，增大气相沉积过程反应接触面积，实现具有均匀供气的目的；本装置设置有稳定供气装置，当对应的供气管和炉管主体连通并用于供气时，让弹性橡胶套对应面紧贴在供气管外侧并进行稳定支撑，从而确保供气管和炉管主体连接结构稳定，避免出现因连接部位变形影响供气稳定性的问题，进一步提升了供气的均匀性。
主权项：1.一种具有均匀供气的沉积回转炉，包括支撑架1，其特征在于，所述支撑架1的顶部设置有炉管主体2，所述炉管主体2的外侧设置有加热炉体3，所述炉管主体2的外侧连接有进料口4，所述炉管主体2的底部安装有传动系统5，所述炉管主体2的一侧连接有分气器6，所述分气器6的外侧连接有软管7，所述支撑架1的顶部设置有联动电机8，所述炉管主体2的外侧连接有进气管路旋转装置11，所述炉管主体2的外侧连接有稳定供气装置12，所述分气器6的外侧通过所述软管7连接有第一气体流量计9，所述分气器6的外侧通过所述软管7连接有第二气体流量计10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 咸阳华光窑炉设备有限公司 一种具有均匀供气的沉积回转炉
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