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申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2023-10-10
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192286U
主分类号：C23C14/04
分类号：C23C14/04;C23C14/54;C23C14/50
优先权：["20221021 KR 10-2022-0136563"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型提供一种沉积装置。根据本实用新型的一实施例的沉积装置包括：支撑模块，包含与对象基板结合的多个支撑部；基材基板，与支撑模块结合；连接部件，连接多个支撑部与基材基板；以及掩模组件，与对象基板相邻，并掩蔽向对象基板提供的沉积物质。支撑模块包括：位置控制部，以使多个支撑部中的每一个能够沿垂直于支撑部的方向轴移动的方式进行调节，从而能够去除对象基板与掩模框架的间隙并防止阴影现象。
主权项：1.一种沉积装置，其特征在于，包括：支撑模块，包含与对象基板结合的多个支撑部；基材基板，与所述支撑模块结合；连接部件，连接所述多个支撑部与所述基材基板；以及掩模组件，与所述对象基板相邻，并掩蔽向所述对象基板提供的沉积物质，其中，所述支撑模块还包括：位置控制部，以使所述多个支撑部中的每一个能够沿垂直于所述支撑部的方向轴移动的方式进行调节。
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