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申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2023-12-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118222982A
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54
优先权：["20221220 KR 10-2022-0179461"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：实施例提供一种沉积设备，所述沉积设备包括：室；以及沉积源，设置在所述室中并且包括沿第一方向布置的多个喷嘴。所述多个喷嘴包括至少一个第一喷嘴，所述至少一个第一喷嘴包括喷射第一沉积材料的第一喷嘴孔和喷射第二沉积材料的第二喷嘴孔，并且所述沉积源进一步包括至少一个角度控制结构，所述至少一个角度控制结构围绕所述至少一个第一喷嘴。
主权项：1.一种沉积设备，包括：室；以及沉积源，设置在所述室中并且包括沿第一方向布置的多个喷嘴，其中所述多个喷嘴包括至少一个第一喷嘴，所述至少一个第一喷嘴包括喷射第一沉积材料的第一喷嘴孔和喷射第二沉积材料的第二喷嘴孔，并且所述沉积源进一步包括至少一个角度控制结构，所述至少一个角度控制结构围绕所述至少一个第一喷嘴。
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