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申请/专利权人：上海烁泰科技有限公司
申请日：2021-09-18
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN113838878B
主分类号：H01L27/146
分类号：H01L27/146;G01T1/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2022.01.11#实质审查的生效;2021.12.24#公开
摘要：本申请涉及一种闪烁屏耦合方法，主要包括以下步骤：S1：将闪烁板置于一真空腔室内；将光学胶贴于真空腔室的弹性密封件，并且光学胶与闪烁板平行并且两者对准，所述光学胶带有离型纸的一面朝向弹性密封件；所述弹性密封件边缘与真空腔室密封贴合，所述弹性密封件背离光学胶的一侧与大气连通；S2：抽除真空腔室内的空气以降低真空腔室内的气压，使弹性密封件在大气压的作用向闪烁板靠近，将光学胶粘接并且压紧于闪烁板；S3：恢复真空腔室内的压力；S4：将传感器和闪烁板上的光学胶对准粘接；S5：传感器和闪烁板在真空环境下粘接并且压合。本申请具有缓解闪烁屏耦合过程中被压坏的问题。
主权项：1.一种闪烁屏耦合方法，其特征在于：主要包括以下步骤：S1：将闪烁板（100）置于一真空腔室（400）内；将至少一面带有离型纸的光学胶（200）贴于真空腔室（400）的弹性密封件（410），并且光学胶（200）与闪烁板（100）平行并且两者对准，所述光学胶（200）带有离型纸的一面朝向弹性密封件（410）；所述弹性密封件（410）边缘与真空腔室（400）密封贴合，所述弹性密封件（410）背离光学胶（200）的一侧与大气连通；S2：抽除真空腔室（400）内的空气以降低真空腔室（400）内的气压，使弹性密封件（410）在大气压的作用下向闪烁板（100）靠近，将光学胶（200）粘接并且压紧于闪烁板（100）；S3：恢复真空腔室（400）内的压力；S4：取下光学胶（200）的背离闪烁板（100）一侧的离型纸，将传感器（300）和闪烁板（100）上的光学胶（200）对准粘接；S5：传感器（300）和闪烁板（100）在真空环境下粘接并且压合；所述弹性密封件（410）包括中心区（411）和边缘区（412），所述边缘区（412）的弹性模量小于中心区（411）的弹性模量，所述中心区（411）用于粘附闪烁板（100）或光学胶（200），所述边缘区（412）呈矩形框状，所述中心区（411）呈矩形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海烁泰科技有限公司 一种闪烁屏耦合方法
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