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超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台 

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申请/专利权人:仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司

摘要:本发明公开了一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台,包括外壳、旋转平台、旋转轴、轴承和上顶片。所述旋转轴具有上端部和与上端部一体成型的下端部,所述旋转轴与旋转平台固定连接。所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴的上端部,所述上顶片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间。本发明公开的超高真空用大行程精密压电位移台,采用逆向压电效应,使电能被间接转化为旋转运动的动能。与传统电机相比,具有体积较小、延迟较低、转矩较大、旋转精度高、低速运行稳定、可控性高等特点。

主权项:1.一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台,其特征在于,包括外壳和旋转平台,还包括:旋转轴,所述旋转轴具有上端部和与上端部一体成型的下端部,所述旋转轴与旋转平台固定连接;轴承和上顶片,所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴的上端部,所述上顶片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间,各个压电陶瓷组件的上端面与上顶片紧密贴合并且相互接触,各个压电陶瓷组件的下端面与设置于旋转轴的下端部的上表面的第二摩擦层紧密贴合并且相互接触;底片,所述底片与上顶片同轴设置,所述底片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第二空间,各个压电陶瓷组件的上端面与设置于旋转轴的下端部的下表面的第一摩擦层紧密贴合并且相互接触,各个压电陶瓷组件的下端面与底片紧密贴合并且相互接触;预紧片和多个蓝宝石球,各个蓝宝石球位于预紧片和底片之间,各个蓝宝石球部分地内嵌于位于底片的凹槽。

全文数据:

权利要求:

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