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申请/专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日：2022-02-08
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN114505892B
主分类号：B25J21/02
分类号：B25J21/02;B01D53/77;B01D53/75;B01D53/56;B01D53/50
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2022.06.03#实质审查的生效;2022.05.17#公开
摘要：本申请公开了一种操作装置，操作装置包括操作腔室和纯化腔室。其中，纯化腔室设置在操作腔室的一侧。纯化腔室包括第一类纯化部。第一类纯化部与操作腔室连通。第一类纯化部用于去除操作腔室内的硫氧化物和氮氧化物中的至少一者。本申请提供的操作装置用于解决现有的操作装置中存在硫氧化物和氮氧化物影响显示面板的稳定性的技术问题。
主权项：1.一种操作装置，其特征在于，包括：操作腔室；纯化腔室，设置于所述操作腔室的一侧，并与所述操作腔室连通；第一类纯化部，设置于所述纯化腔室内，所述第一类纯化部与所述操作腔室连通，所述第一类纯化部用于去除所述操作腔室内的硫氧化物和氮氧化物中的至少一者；所述第一类纯化部包括多个第一部分和多个第二部分，所述第一部分沿第一方向X延伸，所述第二部分沿与所述第一方向相反的方向延伸，且所述第一部分与所述第二部分至少部分对应，所述第一部分和所述第二部分交替排列且依次连通以形成曲折延伸的所述第一类纯化部；所述第一部分和所述第二部分设置有海绵球，所述海绵球吸附有除去硫氧化物和氮氧化物药液；所述操作装置还包括外接管路，所述外接管路与所述纯化腔室连通，用于将保护气体通入至所述纯化腔室内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 操作装置
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