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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2019-03-19
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN112005356B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/687;H01L21/66;H01L31/18
优先权：["20180503 US 62/666,469"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开
摘要：公开了一种用于分类多个基板的设备和方法。该设备包括分类单元、可旋转支撑件、多个夹持器及空气喷嘴，分类单元能够支撑多个箱，可旋转支撑件设置在分类单元内，可旋转支撑件绕旋转轴是可旋转的，多个夹持器在相对于旋转轴的共同半径上耦接到可旋转支撑件，夹持器经被定位为当该可旋转支撑件旋转时沿着这些箱上方的路径行进，该空气喷嘴经配置以当被分类的基板由这些夹持器中的一个夹持器释放到多个箱中的一个箱中时相对于该箱中的堆叠的基板重新定向该被分类的基板。
主权项：1.一种用于分类多个基板的设备，该设备包含：分类单元，该分类单元能够支撑多个分类箱；可旋转支撑件，该可旋转支撑件设置在该分类单元内，该可旋转支撑件围绕旋转轴是可旋转的；多个夹持器，该多个夹持器在相对于该旋转轴的共同半径上耦接到该可旋转支撑件，该些夹持器经定位以当该可旋转支撑件旋转时沿着该些分类箱上方的路径行进；及空气喷嘴，该空气喷嘴经定位以朝向被分类的基板引导加压气体，该空气喷嘴经配置以当该被分类的基板由该些夹持器中的一个夹持器释放、该被分类的基板从该夹持器落入到该多个分类箱中的一个分类箱中的同时相对于该分类箱中的堆叠的基板重新定向该被分类的基板的平面，使得该被分类的基板的该平面与该分类箱中的最上面的堆叠的基板的主表面实质平行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 高速旋转分类器中的基板倾斜控制
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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