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申请/专利权人：田中贵金属工业株式会社
摘要：本发明提供相对密度高、颗粒产生少的Fe‑Pt‑BN系溅射靶。一种Fe‑Pt‑BN系溅射靶，其在通过下述步骤进行测定的情况下，王水溶解后的残渣具有D90为5.5μm以下、小于1μm的微细粒子为35％以下的粒度分布。步骤：1从溅射靶切割出约4mm见方的试样片并粉碎，制备粉碎物；2使用网眼106μm和300μm的筛对粉碎物进行分级，采集通过300μm的筛并残留在106μm的筛上的粉末；3将粉末浸渍到加热至200℃的王水中，制备溶解了粉末的含残渣溶液；4将含残渣溶液用JISP3801中规定的5A的滤纸进行过滤，使滤纸上的残渣在80℃下干燥，制备残渣粉末；5使残渣粉末分散到含有表面活性剂的水中，制备试样溶液；6将试样溶液放到粒度分析仪中，测定粒度分布。
主权项：1.一种Fe-Pt-BN系溅射靶，其是含有Fe、Pt和BN的Fe-Pt-BN系溅射靶，其特征在于，在通过下述步骤对该溅射靶进行测定的情况下，王水溶解后的残渣具有体积基准的90％粒径D90为5.5μm以下、并且小于1μm的微细粒子为35％以下的粒度分布，所述步骤为：1从该溅射靶切割出4mm见方的试样片，将该试样片粉碎，制备粉碎物，2使用网眼106μm和300μm的筛对该粉碎物进行分级，采集通过300μm的筛并残留在106μm的筛上的粉末，3将该粉末浸渍到加热至200℃的王水中，制备溶解了粉末的含残渣溶液，4将该含残渣溶液用JISP3801中规定的5A的滤纸进行过滤，使滤纸上的残渣在80℃下干燥，制备残渣粉末，5使该残渣粉末分散到含有表面活性剂的水中，制备试样溶液，6将该试样溶液放到粒度分析仪中，测定粒度分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 田中贵金属工业株式会社 Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法
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