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申请/专利权人：日置电机株式会社
摘要：本发明涉及一种数据处理控制装置、检查装置、数据处理控制方法及程序，其使电子零部件检查时的残留误差的分析变得容易。一种数据处理控制装置10，其特征在于，具备：数据获取部21，其获取通过四端子法测得的测定对象的直流电阻的测定值Rdc4和通过二端子法测得并校正后的测定对象的直流电阻的测定值Rdc2；以及残留误差数据生成部23，其基于直流电阻的测定值Rdc4和直流电阻的测定值Rdc2计算由二端子法产生的接触电阻所引起的电阻分量ΔR，并生成表示电阻分量ΔR和直流电阻的测定值Rdc4之间的关系的残留误差数据26。
主权项：1.一种数据处理控制装置，其特征在于，具备：数据获取部，其获取通过四端子法测得的测定对象的直流电阻的第一测定值和通过二端子法测得并校正后的所述测定对象的直流电阻的第二测定值；以及残留误差数据生成部，其基于所述第一测定值和所述第二测定值计算由二端子法得到的接触电阻所引起的电阻分量，并通过进行线性或非线性的回归分析而生成残留误差数据，该残留误差数据表示以所述第一测定值为说明变量、以所述电阻分量为目的变量的函数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日置电机株式会社 数据处理控制装置、检查装置、数据处理控制方法及程序
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