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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2019-07-03
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN112955753B
主分类号：G01Q20/02
分类号：G01Q20/02
优先权：["20181120 JP 2018-217360"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2021.07.02#实质审查的生效;2021.06.11#公开
摘要：扫描型探针显微镜包括：悬臂2，其在顶端部具有探针7；光学系统80，其向悬臂照射激光并且检测被悬臂反射的激光；拍摄部10，其用于在进行激光的光轴调整时对包含悬臂2的顶端的位置在内的范围进行拍摄；图像处理部72，其根据由拍摄部10生成的图像来检测探针的顶端的位置和激光的光斑的位置；光轴调整部73，其基于检测到的位置来调整激光的光轴；以及试样保持部44，其用于保持试样。试样保持部44包含镜33。
主权项：1.一种扫描型探针显微镜的光轴调整方法，其中，所述扫描型探针显微镜包括：悬臂，其在顶端部具有探针；光学系统，其在进行测量时向所述悬臂照射激光并且检测被所述悬臂反射的所述激光；以及试样保持部，其包括镜和能够载置于所述镜之上的试样台，该试样保持部用于保持试样，该扫描型探针显微镜的光轴调整方法包含以下步骤：设为在所述镜之上未载置所述试样台的状态的步骤；所述光学系统照射所述激光的步骤；对包含所述悬臂的顶端的位置在内的范围进行拍摄的步骤；根据通过所述拍摄生成的图像来检测所述探针的顶端的位置和所述激光的光斑的位置的步骤；以及基于所述检测到的位置来调整所述激光的光轴的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社岛津制作所 扫描型探针显微镜的光轴调整方法
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