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【发明授权】一种探针台及探针台的上下料方法_深圳市标谱半导体股份有限公司_202410166689.9 

申请/专利权人:深圳市标谱半导体股份有限公司

申请日:2024-02-06

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN117699432B

主分类号:B65G47/74

分类号:B65G47/74;B65G47/90;B65G43/08;B65G65/38;G01R1/04;G01R1/067

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要:本申请提供一种探针台及探针台的上下料方法。探针台包括机架、检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件,X轴驱动组件用于驱动承载工作台沿X轴移动,Y轴驱动组件用于驱动承载工作台沿Y轴移动,探针台还包括:料盒升降组件,设置于机架上,用于将装有待检测物料的料盒运输至抓手组件的工作位置处;抓手组件,设置于承载工作台上,用于在X轴驱动组件和Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料;托手组件,设置于抓手组件上方,用于将待检测物料放置于承载工作台上。通过X轴驱动组件和Y轴驱动组件带动抓手组件抓取物料,并配合托手组件和料盒升降组件可以实现探针台上待检测物料的自动上下料,无需设置副机台,节省占地面积。

主权项:1.一种探针台,包括机架以及设置于所述机架上的检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件,所述检测工作台固定设置于所述机架上,所述承载工作台设置于所述检测工作台的下方,所述X轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿X轴移动,所述Y轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿Y轴移动,其特征在于,所述探针台还包括料盒升降组件、抓手组件和托手组件;所述料盒升降组件,设置于所述机架上,所述料盒升降组件在Y轴方向上设置于所述Y轴驱动组件的一端,并在X轴方向上位于Y轴驱动组件的两滑轨之间;所述料盒升降组件用于将装有待检测物料的料盒运输至所述抓手组件的工作位置处;所述料盒升降组件包括升降滑轨和固定座,所述升降滑轨设置于所述机架上,所述固定座可移动设置于所述升降滑轨上,用于固定待检测物料的料盒;所述抓手组件,设置于所述承载工作台上,且位于所述承载工作台朝向所述料盒升降组件的一侧,用于在所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料,并将待检测物料运输至所述托手组件的工作位置处;所述抓手组件包括底板、夹爪机构和位移检测部,所述夹爪机构沿Y轴可移动设置于所述底板上,用于夹持待检测物料;所述位移检测部设置于所述夹爪机构背向所述料盒升降组件的一侧,用于检测夹爪机构是否相对底板沿Y轴向远离料盒升降组件的方向移动;所述托手组件,设置于所述抓手组件上方,用于从所述抓手组件抓取待检测物料,并将待检测物料放置于所述承载工作台上;所述托手组件包括相对设置的第一托手和第二托手,所述第一托手和所述第二托手均包括托板和托手驱动机构,所述托手驱动机构用于驱动所述托板支撑所述待检测物料;上料时,所述料盒升降组件将装有待检测物料的料盒运输至所述抓手组件的工作位置处,所述抓手组件从所述料盒抓取待检测物料,并将待检测物料运输至所述托手组件的工作位置处,所述托手组件从所述抓手组件抓取待检测物料后,所述承载工作台移动至上料位置处,托手组件将待检测物料放置在所述承载工作台上,完成上料,然后所述承载工作台移至所述检测工作台下方,以对待检测物料进行检测。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市标谱半导体股份有限公司 一种探针台及探针台的上下料方法

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