申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

申请日：2024-04-09

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN118016589B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/66;G01R1/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要：本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括：手臂本体，手臂本体具有气路及第一收容槽；及旋风吸盘，旋风吸盘具有导气通道，导气通道连通至气路，旋风吸盘还包括底板及盖体，底板嵌设于第一收容槽内以固定至手臂本体，底板在背离手臂本体的一侧具有第二收容槽，盖体收容于第二收容槽内，盖体具有周侧面，底板具有形成第二收容槽的内周面，周侧面与内周面间隔设置并围设形成涡流通道，盖体在邻近涡流通道的一侧还具有第一导流面及第一气孔，第一导流面沿着背离内周面的方向凹陷于周侧面，第一气孔显露设置于第一导流面，第一气孔连通于导气通道，并能够出射气体至涡流通道并形成涡流，使得机械手组件能够稳定地运输超薄晶圆。

主权项：1.一种机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括：手臂本体，所述手臂本体用于运输晶圆，所述手臂本体具有气路及第一收容槽，所述气路设置于所述手臂本体内部，所述第一收容槽连通于所述气路，且所述第一收容槽显露设置于所述手臂本体；及旋风吸盘，所述旋风吸盘具有导气通道，所述导气通道收容于所述旋风吸盘内部，并连通至所述气路，所述旋风吸盘还包括底板及盖体，所述底板嵌设于所述第一收容槽内以固定至所述手臂本体，且所述底板凸出于所述第一收容槽设置，所述底板在背离所述手臂本体的一侧具有第二收容槽，所述盖体收容于所述第二收容槽内，所述盖体具有周侧面，所述底板具有形成所述第二收容槽的内周面，所述周侧面与所述内周面间隔设置并围设形成涡流通道，所述盖体在邻近所述涡流通道的一侧还具有第一导流面及第一气孔，所述第一导流面沿着背离所述内周面的方向凹陷于所述周侧面，所述第一气孔显露设置于所述第一导流面，所述第一气孔连通于所述导气通道，并能够出射气体至所述涡流通道并形成涡流，以吸附晶圆；其中，所述盖体在邻近所述涡流通道的一侧还具有第二导流面及第二气孔，所述第二导流面沿背离所述内周面的方向凹陷于所述周侧面，且所述第二导流面与所述第一导流面设置于所述盖体相背的两侧，所述第二气孔显露设置于所述第二导流面，所述第二气孔连通于所述气路，并能够出射气体至所述涡流通道；所述手臂本体具有第一气槽及第一通孔，所述第一气槽的一端连通于所述气路，所述第一气槽的另一端连通于所述第一通孔，所述第一通孔设置于所述手臂本体邻近所述旋风吸盘的一侧；所述底板具有第二通孔，所述盖体在邻近所述底板的一侧具有第二气槽，所述第二气槽通过所述第二通孔连通至所述第一通孔，且所述第二气槽包括第一子槽、第二子槽及第三子槽，所述第二子槽及所述第三子槽对称设置于所述第一子槽相背的两端；所述盖体还具有第三气槽及第四气槽，所述第三气槽与所述第四气槽关于所述第一子槽对称设置，且所述第三气槽、所述第四气槽及所述第二气槽共同形成所述导气通道，所述第三气槽的一端连通至所述第二子槽，所述第三气槽的另一端连通至所述第一气孔，所述第四气槽的一端连通至所述第三子槽，所述第四气槽的另一端连通至所述第二气孔；所述第一通孔具有直径D1，所述第二通孔具有直径D2，其中，D1＞D2；所述第一子槽具有最大宽度H1，所述第二子槽具有最大宽度H2，所述第三子槽具有最大宽度H3，所述第三气槽具有最大宽度H4，所述第四气槽具有最大宽度H5，其中，H1＞H2＞H4，且H1＞H3＞H5。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 机械手组件及探针台

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