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一种带驱动杠杆的单轴陀螺仪 

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申请/专利权人:南京元感微电子有限公司

摘要:本实用新型涉及陀螺仪技术领域,公开一种带驱动杠杆的单轴陀螺仪,包括第一锚点、两个驱动组件、两个驱动检测组件、两个解耦框、至少一对驱动杠杆、至少一对检测框及至少一对检测电极,每个驱动组件均包括驱动电极和驱动框,每个驱动检测组件均包括驱动检测电极和位于驱动框内的驱动检测框,每个驱动杠杆的端部均与第一锚点相连,每个驱动杠杆均与一个驱动框和一个驱动检测框对应,每个驱动杠杆靠近第一锚点的部分均与一个驱动检测框相连,远离第一锚点的一端均与驱动框相连,检测第二方向的角速度时,检测框能够沿第三方向往复运动。本实用新型公开的带驱动杠杆的单轴陀螺仪检测灵敏度高,驱动和检测能够互相解耦。

主权项:1.一种带驱动杠杆的单轴陀螺仪,其特征在于,包括第一锚点、两个驱动组件、两个驱动检测组件、两个解耦框、至少一对驱动杠杆、至少一对检测框及至少一对检测电极,每个所述驱动组件均包括驱动电极和一个驱动框,每个所述驱动检测组件均包括驱动检测电极和位于所述驱动框内的一个驱动检测框,所述驱动检测电极被配置为反应所述驱动检测框的运动,两个所述驱动检测框和两个所述驱动框一一对应设置,每个所述解耦框均与一个所述驱动框和至少一个所述检测框对应设置,所述解耦框分别与所述检测框和所述驱动框相连,所述检测电极能够检测沿第二方向的角速度;每个所述驱动杠杆的端部均与第一锚点相连,每个所述驱动杠杆均与一个所述驱动框和一个所述驱动检测框对应,每个所述驱动杠杆靠近所述第一锚点的部分均与一个所述驱动检测框相连,远离所述第一锚点的一端均与所述驱动框相连;所述驱动电极能够驱动所述驱动框沿第一方向运动,两个所述驱动框同步反向往复运动,所述驱动框能够带动所述驱动检测框及所述解耦框沿所述第一方向运动,检测第二方向的角速度时,所述检测框能够沿第三方向往复运动,所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向互相垂直。

全文数据:

权利要求:

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