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申请/专利权人：柯尔微电子装备(厦门)有限公司
申请日：2023-11-02
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149983U
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型提出了一种可实现小层距提篮取放片的机构，包括滑台模组、夹爪机构、夹持定位机构和检测传感器。夹持定位机构旁设置三个方向的滑台模组，其中，Y轴滑台模组上端面设置夹爪机构，夹爪机构和夹持定位结构上均有传感器，通过各个滑台模组的移动、传感器扫描以及夹爪抓取来完成精准取放料。其中，夹爪厚度方向能达到10mm的开合，夹爪单边厚度小于5mm，以实现设备在提篮中每层方片状态下从8寸提篮中取放产品。另外在提篮中设置8寸和12寸工单点位，在切换工单时，点位自动切换至相对应的位置来完成工作。
主权项：1.一种可实现小层距提篮取放片的机构，其特征在于，包括：Y轴滑台模组、夹爪机构、夹持定位机构、Z轴滑台模组，所述Y轴滑台模组设置在所述夹持定位机构上方，所述夹爪机构设置在所述Y轴滑台模组上方，所述Z轴滑台模组固定在所述夹持定位机构底部，所述夹爪机构的夹爪开合间距小于所述小层距提篮的最小层距尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司 一种可实现小层距提篮取放片的机构
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