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申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司
申请日：2023-11-13
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221226183U
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673;H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了半导体制造领域内的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，包括两块左右对称的侧板，两块外层板顶部之间水平设有中联接板，两块外层板顶部之间位于中联接板前后两侧分别设有上板一和上板二，中联接板、上板一和上板二下表面均与内层板相接触，位于两块内层板的底部之间水平设有下板，位于两块内层板的后部之间竖直设有后挡板，后挡板上部与上板二相贴靠，所述内层板内侧沿高度方向等间隔开设有若干放置槽，所述中联接板的上部设置有两个左右对称分的把手，U形把手的前后两端分别与中联接板上的两个支座相转动连接。本实用新型能够有效减少提篮在使用时摩擦导致金属颗粒的产生，避免导致产品损失。
主权项：1.一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，包括两块左右对称的侧板，侧板竖直设置，其特征在于，所述侧板包括外层板和内层板，外层板的顶部高度高于内层板的顶部高度，两块外层板顶部之间水平设有中联接板，两块外层板顶部之间位于中联接板前后两侧分别设有上板一和上板二，中联接板、上板一和上板二下表面均与内层板相接触，位于两块内层板的底部之间水平设有下板，位于两块内层板的后部之间竖直设有后挡板，后挡板上部与上板二相贴靠，所述内层板内侧沿高度方向等间隔开设有若干放置槽，所述中联接板的上部设置有两个左右对称分的把手，U形把手的前后两端分别与中联接板上的两个支座相转动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮
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