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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263078A
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明公开一种离子刻蚀装置及其颗粒收集方法，其中，该离子刻蚀装置，包括：壳体，所述壳体包括主壳部和连通管，所述主壳部内形成有主腔室，所述连通管形成有连通通道，所述连通通道和所述主腔室相连通；吹扫单元，所述吹扫单元设置在所述主腔室内，所述吹扫单元包括喷气孔，所述喷气孔能够朝向所述主壳部的内壁面喷气；颗粒收集单元，所述颗粒收集单元安装于所述壳体，并至少部分位于所述连通通道内。上述离子刻蚀装置可以对主腔室内的颗粒进行吹扫和收集，能够减少主腔室内的颗粒物的含量，进而可以避免对于离子刻蚀工艺参数的影响以及产品良率的影响。
主权项：1.一种离子刻蚀装置，其特征在于，包括：壳体1，所述壳体1包括主壳部11和连通管12，所述主壳部11内形成有主腔室11a，所述连通管12形成有连通通道12a，所述连通通道12a和所述主腔室11a相连通；吹扫单元2，所述吹扫单元2设置在所述主腔室11a内，所述吹扫单元2包括喷气孔212b-1，所述喷气孔212b-1能够朝向所述主壳部11的内壁面喷气；颗粒收集单元3，所述颗粒收集单元3安装于所述壳体1，并至少部分位于所述连通通道12a内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种离子刻蚀装置及其颗粒收集方法
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