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申请/专利权人：三星电子株式会社
申请日：2023-09-19
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118255802A
主分类号：C07F7/22
分类号：C07F7/22;G03F7/004
优先权：["20221227 KR 10-2022-0186393"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：提供有机金属化合物、包括其的抗蚀剂组合物和使用其的图案形成方法，所述有机金属化合物由下式1‑1至1‑4之一表示。对于式1‑1至1‑4中的M11、L11‑L14、a11‑a14、R11‑R14、X11‑X14、n11‑n15、Y11‑Y13、和R15‑R17的描述，参见说明书。
主权项：1.有机金属化合物，其由下式1-1至1-4的任一个表示： 其中，在式1-1至1-4中，M11为铟In、锡Sn、锑Sb、碲Te、铊Tl、铅Pb、铋Bi、或钋Po，L11-L14各自独立地为单键，或者线型、支化或环状的C1-C30二价烃基团，a11-a14各自独立地为1-4的整数，R11-R14各自独立地为取代或未取代的C3-C30环烷基、取代或未取代的C3-C30杂环烷基、取代或未取代的C2-C30烯基、取代或未取代的C3-C30环烯基、取代或未取代的C3-C30杂环烯基、取代或未取代的C2-C30炔基、取代或未取代的C6-C30芳基、或者取代或未取代的C1-C30杂芳基，X11-X14各自独立地为卤素，羟基，氰基，硝基，羧酸基团，任选地含有杂原子的线型、支化或环状的单价C1-C30烃基团，或-NQ1Q2，n11-n14各自独立地为0-10的整数，n15为1-10的整数，在式1-1中，n11与n12之和为1或更大，在式1-2中，n11、n12与n13之和为1或更大，在式1-3中，n11、n12、n13与n14之和为1或更大，Y11-Y13各自独立地为O、S或NR18，R15-R18、Q1、和Q2各自独立地为氢，氘，或者任选地含有杂原子的线型、支化或环状的单价C1-C30烃基团。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 有机金属化合物、包括其的抗蚀剂组合物和使用其的图案形成方法
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