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申请/专利权人：山东非金属材料研究所
摘要：本实用新型公开了一种基于傅立叶红外原理的硅晶圆产线量测设备在线原位校准装置，包括第一晶圆级样品支架、第二晶圆级样品支架及红外波长标准物质膜片，所述红外波长标准物质膜片的边缘通过粘接的方式固定于第一晶圆级样品支架及第二晶圆级样品支架之间。本实用新型提供的校准装置是依据产线硅晶圆的规格确定第一晶圆级样品支架及第二晶圆级样品支架的尺寸，在测量时直接将校准装置置于傅立叶红外原理的硅晶圆产线量测设备的样品台上，无需拆除样品台上用于固定硅晶圆的附属构件，能够在线原位执行校准操作，保证采集样品时光路的一致性，提高半导体集成电路制造中晶圆介电薄膜掺杂元素含量测量的精度。
主权项：1.一种基于傅立叶红外原理的硅晶圆产线量测设备校准装置，包括红外波长标准物质膜片，其特征在于：还包括第一晶圆级样品支架（1）及第二晶圆级样品支架（2）；所述第一晶圆级样品支架（1）中心位置开设第一圆孔（11）；所述第二晶圆级样品支架（2）中心位置开设第二圆孔（21）；所述红外波长标准物质膜片（3）为圆形；红外波长标准物质膜片（3）的边缘通过粘接的方式固定于所述第一晶圆级样品支架（1）及所述第二晶圆级样品支架（2）之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东非金属材料研究所 一种基于傅立叶红外原理的硅晶圆产线量测设备校准装置
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