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申请/专利权人：安徽聚碳机械设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种MPCVD用三层升降平台，涉及升降平台领域，解决了上述申请文件中接触式套装密封效果不佳易影响后续抽真空效果的问题，采用了如下方案：包括箱体及反应器体，且箱体的内侧设置有顶端对支板和样品轴进行驱动的驱动组件；所述顶板的底侧开设有与反应器体内腔相连通的抽真空槽，所述顶板的底面上开设有位于抽真空槽外侧的套槽，且支板的顶部固定安装有与套槽规格相适配的套座；所述套槽内壁的顶侧边缘处开设有外密封槽，且套槽内侧壁的中心处装配有密封带；该MPCVD用三层升降平台，通过顶板底面上各组件的设置，能够在套座与套槽压装时对密封带及第一密封圈进行挤压，使其形变并填充至外密封槽和内密封槽内侧，从而保证密封效果。
主权项：1.一种MPCVD用三层升降平台，包括箱体1及安装在其顶部的反应器体2，且箱体1的内侧设置有顶端分别对支板4和样品轴6进行驱动的两组驱动组件；其特征在于：所述箱体1的底部固定安装有顶板3，所述顶板3的底侧开设有与反应器体2内腔相连通的抽真空槽9，所述顶板3的底面上开设有位于抽真空槽9外侧的套槽7，且支板4的顶部固定安装有与套槽7规格相适配的套座5；所述套槽7内壁的顶侧边缘处开设有外密封槽11，且套槽7内侧壁的中心处固定安装有密封带8；所述套座5的内侧滑动套装有样品轴6，所述样品轴6的顶面上开设有样品槽15，且样品轴6的外壁上开设有颈槽14；所述套座5内侧轴槽的顶侧边缘处固定安装有与颈槽14规格相适配的第二密封圈13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽聚碳机械设备有限公司 一种MPCVD用三层升降平台
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