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申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本申请提供了一种晶圆取放对准装置和方法，该装置包括：集成箱体；位于集成箱体上的支撑柱和晶圆吸盘；晶圆吸盘通过活塞与集成箱体连接；设置在支撑柱上的可移动定位环；通过套筒与可移动定位环连接的晶圆托盘；位于集成箱体上的控制设备，用于控制晶圆吸盘的吸附和活塞的升降。本申请通过晶圆吸盘与活塞来调整晶圆的上下位置，通过可移动定位环和晶圆托盘来调整晶圆的左右位置，实现对晶圆位置的准确调整，实现晶圆取放对准时避免误伤晶圆表面，且方便晶圆的取放对准。
主权项：1.一种晶圆取放对准装置，其特征在于，包括：集成箱体；位于所述集成箱体上的支撑柱和晶圆吸盘；所述晶圆吸盘通过活塞与所述集成箱体连接；设置在所述支撑柱上的可移动定位环；通过套筒与所述可移动定位环连接的晶圆托盘；位于所述集成箱体上的控制设备，用于控制所述晶圆吸盘的吸附和所述活塞的升降。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 一种晶圆取放对准装置及方法
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