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申请/专利权人：苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司
申请日：2024-04-15
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118207521A
主分类号：C23C16/54
分类号：C23C16/54;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/458;C23C16/40
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明属于火焰水解沉积技术领域，具体公开了一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台包括同轴设置的内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区；所述反应腔室内设有反应喷枪；所述反应气体箱能够为所述反应腔室提供反应气体，所述废气处理箱能够处理反应腔室的火焰水解所产生的废气。本发明可实现不同尺寸的样品同时进行成沉积，兼容性更强。
主权项：1.一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，其特征在于，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台底部设有加热台，所述样品载物台上同轴设置有内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区；所述反应腔室内设有反应喷枪；所述反应气体箱能够为所述反应腔室提供反应气体，所述废气处理箱能够处理反应腔室的火焰水解所产生的废气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司 一种多腔室火焰水解沉积装置
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