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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2022-10-14
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118215888A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;H01L21/687;H01L21/683
优先权：["20211029 EP 21205594.1"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本公开提供一种夹具，所述夹具包括：介电构件；导电元件，其设置于所述介电构件上并且由第一导电材料组成；以及多个突节，其布置于所述导电元件上以用于支撑物体，每个突节包括第二导电材料，其中所述夹具包括布置于所述导电元件和所述多个突节之间的抗蚀刻材料和第三导电材料的交替层的叠层。
主权项：1.一种用于保持物体的夹具，所述夹具包括：多个突节，所述多个突节被布置用于支撑所述物体，每个突节包括第一导电材料，其中所述多个突节位于由包括抗蚀刻材料的层和包括第二导电材料的层形成的交替层的叠层的顶部上，当所述多个突节正在被去除时所述抗蚀刻材料的去除速率低于所述第一导电材料的去除速率，并且其中所述多个突节的底部部分是由所述交替层的所述叠层形成的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于保持物体的夹具和方法
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