申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司

申请日：2019-07-11

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN110262195B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G01J1/42;G01J1/44

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2019.10.22#实质审查的生效;2019.09.20#公开

摘要：本发明涉及能量探测领域，具体涉及一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路。该能量探测电路首先光电二极管对193nm光刻机中准分子激光器的光信号进行探测得到电流信号，并通过有源滤波电路得到单个脉冲的电压信号，消除光电二极管电流电压转换过程中拖尾信号对测试结果的影响。其次，滤波之后单个脉冲的电压信号经过比较器来触发触发器，触发器的下降沿时间可以调节，触发器触发控制开关电路，开关电路控制经过有源滤波电路之后的积分电路，同时积分电路通过改变可变电容器容值来改变最终的输出电压值。与现有技术相比，本发明电路简单，易于实现，能有效提高能量测量的精度和准确性。

主权项：1.一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，包括：光电二极管，用于对准分子激光器发射出的激光进行探测得到电流信号；有源滤波电路，用于对电流信号进行反向放大和滤波得到电压信号；比较器，用于输入电压信号并在电压信号中有脉冲信号出现时输出上升沿信号；触发器，用于输入上升沿信号进行触发并输出下降沿信号；开关电路，用于输入下降沿信号并根据下降沿信号进行断通；积分电路，用于根据开关电路的断开或连通情况，对电压信号进行积分处理；供电电路，用于对能量探测电路进行供电；其中所述积分电路中的积分电容为可变电容。

全文数据：一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路技术领域本发明涉及能量探测领域，尤其涉及一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路。背景技术193nm准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，具有高重频、大能量、窄线宽等特点，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。曝光能量是光刻机的一个重要参数，为了实现精确的曝光能量稳定性控制，首先需要一个能量探测电路来精确的测量激光器单个脉冲能量的大小。准分子激光器作为光刻机的光源，其中95％的能量输出用作光刻，只有5％的能量用作能量探测电路探测，而在这5％的能量中，还需要经过分光镜、衰减片、扩束镜、匀化镜组和反射镜才到达光电探测二极管，而在这部分能量中，由于经过这些镜片会有光源被吸收，同时受光电二极管的感光面积的限制，光电探测二极管吸收的光非常少，因此光电二极管探测的电流非常微弱。同时准分子激光器输出的激光脉冲宽度只有几十纳秒，脉冲时间短，不方便测量；另一方面针对不同范围的激光输出能量要求，需要能量测量电路的放大倍数必须可以调节。因此设计一种具有低噪声放大，而且放大倍数可调，同时能将脉冲展宽的电路是极其重要的。公开号为CN104316172A的发明专利中公开的能量探测装置的信号处理电路采用的前置放大电路、积分保持电路和逻辑控制电路用来对窄脉冲信号进行放大积分和保持，但是对于关键性的开关器件，没有给出具体的实现方法电路，而且其最终的输出波形也不是和需要输出的波形一样，同时其放大倍数不可调节，对于功率不同的激光器探测单个脉冲能量时需要制作不同的电路来测量。对于传统的放大倍数可以调节的电路，通常在电路中增加一级比例放大电路，通过可变电阻来改变输入电流或者反馈电阻，达到放大倍数可调的效果，在实现上增加额外的电路，浪费激光探测器有限的空间。发明内容本发明实施例提供了一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，以至少解决现有能量探测电路无法进行波形放大倍数可调的技术问题。根据本发明的实施例，提供了一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，包括：光电二极管，用于对准分子激光器发射出的激光进行探测得到电流信号；有源滤波电路，用于对电流信号进行反向放大和滤波得到电压信号；比较器，用于输入电压信号并在电压信号中有脉冲信号出现时输出上升沿信号；触发器，用于输入上升沿信号进行触发并输出下降沿信号；开关电路，用于输入下降沿信号并根据下降沿信号进行断通；积分电路，用于根据开关电路的断开或连通情况，对电压信号进行积分处理；供电电路，用于对能量探测电路进行供电；其中所述积分电路中的积分电容为可变电容。进一步地，所述积分电路的积分时间由触发器的脉冲宽度来确定。进一步地，所述积分电路在积分处理中将电压信号中激光脉冲信号进行展宽并持平。进一步地，当开关电路断开时，积分电路积分；当开关电路导通时，积分电路停止积分。进一步地，供电电路采用TL1054CS8电源芯片的集成电路U7，将电源转化为对称输出的负电压；其中集成电路U7的1脚悬空，2脚接电容C26后连接4脚，3脚接地，5脚接-VOUT、接电容C28后接地，6、7脚悬空，8脚接Vin、接电容C25后接地；电容C26、电容C28及电容C25均为极性电容。进一步地，供电电路采用LM7805电源芯片将电源转换成+5V；其中LM7805电源芯片的1脚接Vin、接变压器T8、接电容C24后接地，2脚接地，3脚接电容C27后接地、接电感L2后接VCC及变压器T9。进一步地，有源滤波电路包括电阻R21、电容C36、集成电路U10、电阻R20、电容C35、电容C30、电容C34、变压器T11；其中光电二极管D1负极接地、正极接电阻R21；集成电路U10的1脚悬空，2脚接电阻R21、电容C36后接地、电阻R20、电容C35，3脚接地，4脚接电容C30后接地，5脚悬空，6脚接变压器T11、接比较器、接电阻R20及电容C35、接积分电路，7脚接Vin、接电容C34后接地，8脚悬空。进一步地，比较器包括电阻R9、电阻R22、电容C39、电阻R23、电容C38、电容C37、电阻R7、集成电路U11、电容C33；其中集成电路U11的1脚接触发器，2脚接VCC、接电容C37后接地，3脚接Vin、接电容C38后接地，4脚接电阻R7后接地，5脚接电阻R9后接集成电路U10的6脚、接电阻R22后接VCC及接电容C39后接地，6脚接电容C33后接地，7脚接电阻R23后接VCC，8脚接地。进一步地，触发器包括电阻R1、集成电路U9、电容C29、电阻R2、电容C32；其中集成电路U9的1脚接地，2脚接集成电路U11的1脚，3脚接电阻R1后接VCC，4脚接开关电路，5-13脚悬空，14脚接地、接电容C29，15脚接电容C29、接电阻R2后接VCC，16脚接VCC、接电容C32后接地。进一步地，开关电路包括三极管Q2、电阻R28、电阻R27、变压器T14；其中电阻R28一端接三极管Q2、接变压器T14，另一端接集成电路U9的4脚，三极管Q2另一端接积分电路、再一端接地、接电阻R27，电阻R27接积分电路；积分电路包括电容C40、电容C41、电容C42、电容C43、集成电路U12、电阻R24、电阻R25、变压器T13；其中电容C43是可变电容；集成电路U12的1脚悬空，2脚接电阻R25后接集成电路U10的6脚、接电阻R27、接电容C42及电容C43，3脚接地，4脚接-VOUT、接电容C40后接地，5脚悬空，6脚接电阻R24后接变压器T13、接电容C42及电容C43，7脚接Vin、接电容C41后接地，8脚悬空。本发明实施例中的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，采用改变反馈电容来改变放大倍数，在空间上不需要增加额外的电路，节省电路板的空间，减少电路板的复杂性，只需将反馈电容改为可以调节的电容即可，而且市面上也存在直接通过旋钮调节就可以改变电容值的电容，便于实现。与现有技术相比，本发明电路简单，易于实现，能有效提高能量测量的精度和准确性。附图说明此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：图1是本发明中准分子激光器的能量探测电路信号流向图；图2是本发明中准分子激光器的能量探测电路中供电电路原理图；图3是本发明中准分子激光器的能量探测电路中信号处理电路原理图；图4是本发明中信号处理电路转换过程的波形图。具体实施方式为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。根据本发明的实施例，提供了一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，包括：光电二极管，用于对准分子激光器发射出的激光进行探测得到电流信号；有源滤波电路，用于对电流信号进行反向放大和滤波得到电压信号；比较器，用于输入电压信号并在电压信号中有脉冲信号出现时输出上升沿信号；触发器，用于输入上升沿信号进行触发并输出下降沿信号；开关电路，用于输入下降沿信号并根据下降沿信号进行断通；积分电路，用于根据开关电路的断开或连通情况对电压信号进行积分处理；供电电路，用于对能量探测电路进行供电；其中所述积分电路中的积分电容为可变电容。本发明实施例中的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，采用改变反馈电容来改变放大倍数，在空间上不需要增加额外的电路，节省电路板的空间，减少电路板的复杂性，只需将反馈电容改为可以调节的电容即可，而且市面上也存在直接通过旋钮调节就可以改变电容值的电容，便于实现。与现有技术相比，本发明电路简单，易于实现，能有效提高能量测量的精度和准确性。本发明提供的一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，能够将噪声信号得到抑制，有用信号得到放大，同时为了方便测量，利用积分电路将测量的激光脉冲信号展宽并持平，使当产生激光脉冲信号时，任意一点的测量电压都可以代表该脉冲的能量强弱，降低后续AD采集处理电路设计的难度。同时为了适应于不同的激光器，其放大倍数可调。放大倍数的调节方法是调节积分电路中积分电容为可变电容器。具体的，本发明为用于准分子激光器的能量检测电路，首先光电二极管对193nm光刻机中准分子激光器的光信号进行探测得到电流信号，并通过有源滤波电路得到单个脉冲的信号，消除光电二极管的拖尾信号对测试结果的影响。其次，滤波之后单个脉冲的信号经过比较器来触发触发器，触发器的下降沿时间可以调节，触发器触发控制开关电路，开关电路控制经过有源滤波电路之后的积分电路，积分电路的积分时间由触发器的脉冲宽度来确定，同时积分电路通过改变可变电容器容值来改变最终的输出电压值。作为优选的技术方案中，所述积分电路的积分时间由触发器的脉冲宽度来确定。作为优选的技术方案中，所述积分电路在积分处理中将电压信号中激光脉冲信号进行展宽并持平。作为优选的技术方案中，当开关电路断开时，积分电路积分；当开关电路导通时，积分电路停止积分。作为优选的技术方案中，供电电路采用TL1054CS8电源芯片的集成电路U7，将电源转化为对称输出的负电压；其中集成电路U7的1脚悬空，2脚接电容C26后连接4脚，3脚接地，5脚接-VOUT、接电容C28后接地，6、7脚悬空，8脚接Vin、接电容C25后接地；电容C26、电容C28及电容C25均为极性电容。作为优选的技术方案中，供电电路采用LM7805电源芯片将电源转换成+5V；其中LM7805电源芯片的1脚接Vin、接变压器T8、接电容C24后接地，2脚接地，3脚接电容C27后接地、接电感L2后接VCC及变压器T9。作为优选的技术方案中，有源滤波电路包括电阻R21、电容C36、集成电路U10、电阻R20、电容C35、电容C30、电容C34、变压器T11；其中光电二极管D1负极接地、正极接电阻R21；集成电路U10的1脚悬空，2脚接电阻R21、电容C36后接地、电阻R20、电容C35，3脚接地，4脚接电容C30后接地，5脚悬空，6脚接变压器T11、接比较器、接电阻R20及电容C35、接积分电路，7脚接Vin、接电容C34后接地，8脚悬空。作为优选的技术方案中，比较器包括电阻R9、电阻R22、电容C39、电阻R23、电容C38、电容C37、电阻R7、集成电路U11、电容C33；其中集成电路U11的1脚接触发器，2脚接VCC、接电容C37后接地，3脚接Vin、接电容C38后接地，4脚接电阻R7后接地，5脚接电阻R9后接集成电路U10的6脚、接电阻R22后接VCC及接电容C39后接地，6脚接电容C33后接地，7脚接电阻R23后接VCC，8脚接地。作为优选的技术方案中，触发器包括电阻R1、集成电路U9、电容C29、电阻R2、电容C32；其中集成电路U9的1脚接地，2脚接集成电路U11的1脚，3脚接电阻R1后接VCC，4脚接开关电路，5-13脚悬空，14脚接地、接电容C29，15脚接电容C29、接电阻R2后接VCC，16脚接VCC、接电容C32后接地。作为优选的技术方案中，开关电路包括三极管Q2、电阻R28、电阻R27、变压器T14；其中电阻R28一端接三极管Q2、接变压器T14，另一端接集成电路U9的4脚，三极管Q2另一端接积分电路、再一端接地、接电阻R27，电阻R27接积分电路；积分电路包括电容C40、电容C41、电容C42、电容C43、集成电路U12、电阻R24、电阻R25、变压器T13；其中电容C43是可变电容；集成电路U12的1脚悬空，2脚接电阻R25后接集成电路U10的6脚、接电阻R27、接电容C42及电容C43，3脚接地，4脚接-VOUT、接电容C40后接地，5脚悬空，6脚接电阻R24后接变压器T13、接电容C42及电容C43，7脚接Vin、接电容C41后接地，8脚悬空。下面以具体实施例对本发明进行详细说明。一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路包括供电电路、光电二极管、有源滤波电路、比较器、触发器、开关电路、积分电路，积分电路中包括可以调节的积分电容，其信号流向图如图1所示。供电电路用来给整个电路进行供电，光电二极管用来探测193nm准分子激光，有源滤波电路用来将光电二极管探测到的电流信号经过反向放大和滤波得到电压信号，当电压信号中有脉冲信号出现时比较器用来输出一个上升沿信号，这个上升沿信号用来触发触发器，触发器输出一个下降沿信号用来控制开关电路的断通，开关电路的断通用来控制积分电路的积分时间，当开关电路断开时，积分电路积分，当开关电路导通时，积分电路停止积分，并可调节改变积分电容容值，最终由积分电路输出电压值。图2是本发明中准分子激光器的能量探测电路中供电电路原理图。能量探测电路在信号处理的过程中需要使用负电压，根据电源的需求功率与电流需求，采用TL1054CS8电源芯片集成电路U7，将电源转化为对称输出的负电压。集成电路U7的1脚悬空，2脚接电容C26后连接4脚，3脚接地，5脚接-VOUT、接电容C28后接地，6、7脚悬空，8脚接Vin、接电容C25后接地，其中电容C26、电容C28及电容C25均为极性电容；同时能量探测电路在信号处理的过程中需要使用+5V电压，因此采用LM7805电源芯片将电源转换成+5V。LM7805电源芯片的1脚接Vin、接变压器T8、接电容C24后接地，2脚接地，3脚接电容C27后接地、接电感L2后接VCC及变压器T9。如图3是本发明中准分子激光器的能量探测电路中信号处理电路原理图，首先光电二极管D1受激光的照射，产生电流信号，通过包括电阻R21、电容C36、集成电路U10、电阻R20、电容C35、电容C30、电容C34、变压器T11的有源滤波电路将激光器的暗电流，以及由于激光器本身性质导致的脉冲不均匀的拖尾信号滤除，其中光电二极管D1负极接地、正极接电阻R21；集成电路U10的1脚悬空，2脚接电阻R21、电容C36后接地、电阻R20、电容C35，3脚接地，4脚接电容C30后接地，5脚悬空，6脚接变压器T11、接比较器、接电阻R20及电容C35、接积分电路，7脚接Vin、接电容C34后接地，8脚悬空。其次，该有源滤波电路的输出电压，一方面经过比较器，另一方面经过积分电路最后输出。比较器包括电阻R9、电阻R22、电容C39、电阻R23、电容C38、电容C37、电阻R7、集成电路U11、电容C33；其中集成电路U11的1脚接触发器，2脚接VCC、接电容C37后接地，3脚接Vin、接电容C38后接地，4脚接电阻R7后接地，5脚接电阻R9后接集成电路U10的6脚、接电阻R22后接VCC及接电容C39后接地，6脚接电容C33后接地，7脚接电阻R23后接VCC，8脚接地。触发器包括电阻R1、集成电路U9、电容C29、电阻R2、电容C32；其中集成电路U9的1脚接地，2脚接集成电路U11的1脚，3脚接电阻R1后接VCC，4脚接开关电路，5-13脚悬空，14脚接地、接电容C29，15脚接电容C29、接电阻R2后接VCC，16脚接VCC、接电容C32后接地。开关电路包括三极管Q2、电阻R28、电阻R27、变压器T14。其中电阻R28一端接三极管Q2、接变压器T14，另一端接集成电路U9的4脚，三极管Q2另一端接积分电路、再一端接地、接电阻R27，电阻R27接积分电路。积分电路包括电容C40、电容C41、电容C42、电容C43、集成电路U12、电阻R24、电阻R25、变压器T13，其中电容C43是可变电容，用来改变放大倍数。集成电路U12的1脚悬空，2脚接电阻R25后接集成电路U10的6脚、接电阻R27、接电容C42及电容C43，3脚接地，4脚接-VOUT、接电容C40后接地，5脚悬空，6脚接电阻R24后接变压器T13、接电容C42及电容C43，7脚接Vin、接电容C41后接地，8脚悬空。如图4信号处理电路转换过程的波形图，首先经过光电二极管D1的波形如Vi所示，有较长的拖尾现象，之后经过有源滤波电路的波形如Vo1所示，拖尾现象减少，经过比较器之后的波形如Vo2所示，经过触发器的波形如Vo3所示，最终的输出波形如Vo4所示，Vo4的幅度受可变电容C43的控制，当电容变大时，输出变小，当电容变小时，输出电压变大。从图4可以看出，Vi为输入信号，虽然其脉宽较大，但是大部分是由于传感器的性质导致的拖尾，而拖尾信号不属于单个脉冲的信号，因此需要将其滤波得到能代表单个脉冲信号能量的Vo1，可以看出Vo1脉冲宽度比较窄，而且信号是一个曲线，不方便测量，通过最后的波形整理，最后输出波形为Vo4，可以看出，Vo4的波形宽度比Vo1宽了很多，而且最后信号的电压维持在一个恒定值，方便测量。上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。在本发明的上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的技术内容，可通过其它的方式实现。其中，以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，例如单元的划分，可以为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，单元或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备可为个人计算机、服务器或者网络设备等执行本发明各个实施例方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、只读存储器ROM，Read-OnlyMemory、随机存取存储器RAM，RandomAccessMemory、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

权利要求：1.一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，包括：光电二极管，用于对准分子激光器发射出的激光进行探测得到电流信号；有源滤波电路，用于对电流信号进行反向放大和滤波得到电压信号；比较器，用于输入电压信号并在电压信号中有脉冲信号出现时输出上升沿信号；触发器，用于输入上升沿信号进行触发并输出下降沿信号；开关电路，用于输入下降沿信号并根据下降沿信号进行断通；积分电路，用于根据开关电路的断开或连通情况，对电压信号进行积分处理；供电电路，用于对能量探测电路进行供电；其中所述积分电路中的积分电容为可变电容。2.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，所述积分电路的积分时间由触发器的脉冲宽度来确定。3.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，所述积分电路在积分处理中将电压信号中激光脉冲信号进行展宽并持平。4.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，当开关电路断开时，积分电路积分；当开关电路导通时，积分电路停止积分。5.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，供电电路采用TL1054CS8电源芯片的集成电路U7，将电源转化为对称输出的负电压；其中集成电路U7的1脚悬空，2脚接电容C26后连接4脚，3脚接地，5脚接-VOUT、接电容C28后接地，6脚和7脚悬空，8脚接Vin、接电容C25后接地；电容C26、电容C28及电容C25均为极性电容。6.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，供电电路采用LM7805电源芯片将电源转换成+5V；其中LM7805电源芯片的1脚接Vin、接变压器T8、接电容C24后接地，2脚接地，3脚接电容C27后接地、接电感L2后接VCC及变压器T9。7.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，有源滤波电路包括电阻R21、电容C36、集成电路U10、电阻R20、电容C35、电容C30、电容C34、变压器T11；其中，光电二极管D1负极接地、正极接电阻R21；集成电路U10的1脚悬空，2脚接电阻R21、电容C36后接地、电阻R20、电容C35，3脚接地，4脚接电容C30后接地，5脚悬空，6脚接变压器T11、接比较器、接电阻R20及电容C35、接积分电路，7脚接Vin、接电容C34后接地，8脚悬空。8.根据权利要求7所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，比较器包括电阻R9、电阻R22、电容C39、电阻R23、电容C38、电容C37、电阻R7、集成电路U11、电容C33；其中集成电路U11的1脚接触发器，2脚接VCC、接电容C37后接地，3脚接Vin、接电容C38后接地，4脚接电阻R7后接地，5脚接电阻R9后接集成电路U10的6脚、接电阻R22后接VCC及接电容C39后接地，6脚接电容C33后接地，7脚接电阻R23后接VCC，8脚接地。9.根据权利要求8所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，触发器包括电阻R1、集成电路U9、电容C29、电阻R2、电容C32；其中集成电路U9的1脚接地，2脚接集成电路U11的1脚，3脚接电阻R1后接VCC，4脚接开关电路，5-13脚悬空，14脚接地、接电容C29，15脚接电容C29、接电阻R2后接VCC，16脚接VCC、接电容C32后接地。10.根据权利要求9所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，开关电路包括三极管Q2、电阻R28、电阻R27、变压器T14；其中电阻R28一端接三极管Q2、接变压器T14，另一端接集成电路U9的4脚，三极管Q2另一端接积分电路、再一端接地、接电阻R27，电阻R27接积分电路；积分电路包括电容C40、电容C41、电容C42、电容C43、集成电路U12、电阻R24、电阻R25、变压器T13；其中电容C43是可变电容；集成电路U12的1脚悬空，2脚接电阻R25后接集成电路U10的6脚、接电阻R27、接电容C42及电容C43，3脚接地，4脚接-VOUT、接电容C40后接地，5脚悬空，6脚接电阻R24后接变压器T13、接电容C42及电容C43，7脚接Vin、接电容C41后接地，8脚悬空。

百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路

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