申请/专利权人：南通伟腾半导体科技有限公司

申请日：2022-04-27

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN114714530B

主分类号：B28D5/02

分类号：B28D5/02;B28D7/00;C25D1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2022.07.26#实质审查的生效;2022.07.08#公开

摘要：本发明公开了一种高精密晶圆切割刀片及其刀刃电铸成型装置，晶圆切割刀片包括：刀片基体、刀刃和设置于刀片基体的中心部位的装配孔，晶圆切割刀片的刀刃电铸成型装置包括电镀池和装配结构，装配结构用于固定刀片基体并在固定刀片基体后移动刀片基体至电铸池内完成电铸操作，装配结构包括：径向固定部件，用于固定刀片基体，径向固定部件的输出端伸入装配孔内，沿径向固定刀片基体；移位部件，带动刀片基体竖向移动，使刀片基体的边部浸入及脱离电铸池；转动部件，带动刀片基体转动，从径向上对刀片基体固定夹持，并夹持过程中调整刀片基体的位置，使刀片基体最终位于各夹持部位的中心点，提升刀刃的电铸成型质量。

主权项：1.一种高精密晶圆切割刀片的刀刃电铸成型装置，所述高精密晶圆切割刀片具备：刀片基体（5），所述刀片基体（5）呈圆盘状；刀刃（2），设置于所述刀片基体（5）的边缘部位，所述刀片基体（5）和所述刀刃（2）一起构成晶圆切割刀片；装配孔（3），所述装配孔（3）用于固定安装所述晶圆切割刀片，所述装配孔（3）设置于所述刀片基体（5）的中心部位；所述刀刃电铸成型装置包括电铸池（4）和装配结构（1），所述装配结构（1）用于固定所述刀片基体（5）并在固定所述刀片基体（5）后移动所述刀片基体（5）至所述电铸池（4）内完成电铸操作，其特征在于，所述装配结构（1）包括：径向固定部件（11），用于固定所述刀片基体（5），所述径向固定部件（11）的输出端伸入所述装配孔（3）内，沿径向固定所述刀片基体（5）；移位部件（12），设置在所述电铸池（4）上方并通过移位固定架（121）与所述电铸池（4）相连，所述移位部件（12）的输出端与所述径向固定部件（11）相连，带动所述径向固定部件（11）及所述刀片基体（5）竖向移动，使所述刀片基体（5）的边部浸入及脱离所述电铸池（4）；转动部件（13），设置于所述移位部件（12）和所述径向固定部件（11）之间，其中所述转动部件（13）安装在所述移位部件（12）的输出端上，在所述刀片基体（5）的边部浸入所述电铸池（4）后带动所述刀片基体（5）转动；所述径向固定部件（11）包括固定部（111）和夹紧部（112），所述固定部（111）包括圆柱状的固定基体（1111）和若干圆弧固定片（1112），所述固定基体（1111）的起始端与所述转动部件（13）的输出端相连，若干所述圆弧固定片（1112）沿所述固定基体（1111）末端的周向均匀间隔设置，且所述圆弧固定片（1112）的圆心位于所述固定基体（1111）的轴线上，所述圆弧固定片（1112）与所述固定基体（1111）具有一个空隙，该空隙为夹紧空隙（1113）；所述夹紧部（112）包括锥形头（1121）、用于安装所述锥形头（1121）的夹紧安装座（1122）、用于所述夹紧安装座（1122）滑动的夹紧滑槽（1123）、以及驱动所述夹紧安装座（1122）在所述夹紧滑槽（1123）内移动从而带动所述锥形头（1121）移动的直线电机，所述固定部（111）位于所述锥形头（1121）的移动方向上，所述夹紧滑槽（1123）固定在所述移位部件（12）的输出端上，所述锥形头（1121）和所述夹紧安装座（1122）上均设置有用于所述固定基体（1111）穿过的夹紧通孔（1124），所述锥形头（1121）的外径从头部到底部逐渐变大，且所述锥形头（1121）的小径端正对着所述固定部（111）；所述径向固定部件（11）还包括锥形杆（113），所述锥形杆（113）连接于所述固定基体（1111）的末端，所述锥形杆（113）的外径逐渐变小，且所述锥形杆（113）的大径端与所述固定基体（1111）相连，所述圆弧固定片（1112）的一端与所述锥形杆（113）大径端的端面相连；所述装配结构（1）还包括对向夹持部件（14），所述对向夹持部件（14）从所述刀片基体（5）的两侧对所述刀片基体（5）进行夹持，以调整所述刀片基体（5）的竖直状态，并使所述刀片基体（5）保持在所述对向夹持部件（14）左侧；所述对向夹持部件（14）包括固定弧形片（141）、移动夹持座（142）以及用于所述移动夹持座（142）移动的对向夹持滑槽（143），所述固定弧形片（141）设置在所述圆弧固定片（1112）的端部，且所述固定弧形片（141）设置在所述圆弧固定片（1112）远离所述所述锥形杆（113）的一端，所述对向夹持滑槽（143）设置在所述所述移位部件（12）的输出端上，所述移动夹持座（142）连接有圆环夹持板（144），所述固定弧形片（141）位于所述圆环夹持板（144）的移动轨迹上，在所述移动夹持座（142）移动至所述对向夹持滑槽（143）的末端时，所述固定弧形片（141）和所述圆环夹持板（144）紧密贴合并处于夹紧状态。

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