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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日：2023-11-03
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221174722U
主分类号：G01R1/04
分类号：G01R1/04;G01R31/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本申请提供一种卡盘组件及探针台。卡盘组件包括卡盘、第一承载板、第二承载板及导轨组件。第一承载板用于承载卡盘，第一承载板具有相背设置的第一端部及第二端部；第二承载板设置于第一承载板背离卡盘的一侧；导轨组件包括第一导轨及第二导轨，第一导轨连接于第一承载板，第二导轨连接于第二承载板，且第一导轨能够相对第二导轨沿第一方向移动以带动第一承载板相对于第二承载板沿第一方向移动，第一承载板具有第一位置及第二位置，当第一承载板位于第二位置时，卡盘及第一端部显露于收容腔，其中，第一导轨与第二导轨相对运动的行程大于卡盘到第一端部的最大距离，从而便于用户进行晶圆的装卸。
主权项：1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件应用于探针台中，所述探针台具有收容腔，所述卡盘组件收容于所述收容腔内，所述卡盘组件包括：卡盘，所述卡盘用于承载待测试的晶圆；第一承载板，所述第一承载板用于承载所述卡盘，所述第一承载板具有相背设置的第一端部及第二端部；第二承载板，所述第二承载板设置于所述第一承载板背离所述卡盘的一侧；及导轨组件，所述导轨组件包括第一导轨及第二导轨，所述第一导轨连接于所述第一承载板，所述第二导轨连接于第二承载板，且所述第一导轨能够相对所述第二导轨沿第一方向移动以带动所述第一承载板相对于所述第二承载板沿所述第一方向移动，所述第一承载板具有第一位置及第二位置，当所述第一承载板位于第一位置时，所述卡盘收容于所述收容腔内，当所述第一承载板位于第二位置时，所述卡盘及所述第一端部显露于所述收容腔，其中，所述第一导轨与所述第二导轨相对运动的行程大于所述卡盘到所述第一端部的最大距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 卡盘组件及探针台
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