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申请/专利权人：辽宁烯旺石墨科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其涉及化学气相沉积炉辅助设备技术领域，包括壳体，所述壳体的两侧侧壁上连通设置有扩散斗和聚气斗，所述壳体的顶壁上开设有多个第一通槽，所述壳体的顶部活动设置有上盖，所述上盖的底部且位于多个第一通槽内设置有多块冷凝板，所述壳体的顶部设置有一对气缸，一对所述气缸的伸缩端与上盖的底部连接，所述壳体的顶部设置有第一进液管；本实用新型通过外置供液装置向第一进液管中输送清洗液，清洗液从多个喷头喷出来对多块冷凝板进行冲洗，再利用一对气缸带动多块冷凝板竖直向上移动，使多对刷条对多块冷凝板进行清理，无需人工进行清理，人员省时省力，提升了清洗的效率。
主权项：1.一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括壳体1，所述壳体1的两侧侧壁上连通设置有扩散斗1-1和聚气斗1-2，所述壳体1的顶壁上开设有多个第一通槽1-3，所述壳体1的顶部活动设置有上盖5，所述上盖5的底部且位于多个第一通槽1-3内设置有多块冷凝板6，其特征在于，所述壳体1的顶部设置有一对气缸4，一对所述气缸4的伸缩端与上盖5的底部连接，所述壳体1的顶部设置有第一进液管7，所述第一进液管7一端封闭，另一端连接有外置供液装置，所述壳体1的顶壁上且位于每块冷凝板6的两侧贯穿设置有多对第二进液管8，每对所述第二进液管8的底部连通设置有第三进液管9，每个所述第三进液管9上设置有多个喷头10，所述壳体1的顶部内壁上且位于每块冷凝板6的两侧活动设置有多对刷条15，多对所述刷条15能够抵接到冷凝板6上，所述壳体1的底部连通设置有出液管2，所述出液管2上设置有阀门3。
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权利要求：
百度查询： 辽宁烯旺石墨科技有限公司 一种化学气相沉积炉用尾气处理装置
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