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申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司
申请日：2023-11-23
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221176147U
主分类号：H01J37/26
分类号：H01J37/26;H01J37/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型属于电子束设备技术领域，具体公开了一种垂向精度调节装置，包括安装盖板、波纹管、电子束镜、和螺钉，所述安装盖板上方设有电子束镜，电子束镜的侧边均匀设置有多个紧固块，紧固块下方设有调节机构；调节结构包括连接座、板簧、支撑垫块以及液压缸，连接座上方设有凸起的球形块，球形块侧边对称开设有螺孔，紧固块下方开设有活动槽，球形块与活动槽贴合，紧固块上方开设有凹槽，凹槽中心开设有贯通紧固块的锁紧孔，并且凹槽内设有球面垫片；在使用时，通过液压缸推动连接座带动电子束镜Z向竖直方向移动，当多个液压缸的长度不同时，则会使电子束镜产生角度偏移倾斜，调节好后，锁紧螺钉，完成调节流程。
主权项：1.一种垂向精度调节装置，其特征在于：包括安装盖板1、波纹管3、电子束镜2和螺钉5，所述安装盖板1上方设有电子束镜2，电子束镜2通过波纹管3与安装盖板1连接，电子束镜2的侧边均匀设置有多个紧固块201，紧固块201下方设有调节机构；调节结构包括连接座4、板簧401、支撑垫块402以及液压缸7，连接座4侧边对称设有板簧401，板簧401端部设有支撑垫块402，并且板簧401两端分别通过弹性铰链与连接座4和支撑垫块402连接，连接座4下方设有液压缸7，液压缸7的输出端连接在连接座4上，连接座4上方设有凸起的球形块403，球形块403侧边对称开设有螺孔404，紧固块201下方开设有活动槽2011，球形块403与活动槽2011贴合，紧固块201上方开设有凹槽2012，凹槽2012中心开设有贯通紧固块201的锁紧孔2013，并且凹槽2012内设有球面垫片6，螺钉5穿过球面垫片6和锁紧孔2013并螺纹连接在螺孔404中固定紧固块201。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 一种垂向精度调节装置
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