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申请/专利权人：河北工程大学;深圳市三孚北理新材料科学研究有限公司
申请日：2024-03-29
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118224996A
主分类号：G01B11/24
分类号：G01B11/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，针对大口径非连续非球面反射镜，提出一种拼接式CGH半补偿检测大口径非连续非球面的检测方法。通过激光干涉仪、被检镜和CGH组成的检测装置，实现从球面波到非球面波的转换和待检镜全口径面形信息获取。根据两个非连续非球面方程对非连续非球面进行拟合，设计拟合非球面，根据拟合非球面设计CGH，若CGH的刻线密度过高，改变拟合非球面的系数，直至CGH条纹密度达到要求，则得到最佳拟合非球面。优化设计的CGH提高了设计效率和通用性，有效降低CGH的刻线密度，降低了制备难度。该方法仅需光轴方向单维平移测量，减小了传统径向移动误差。这一技术极大地优化了大口径非连续非球面反射镜检测方法，节约了时间和成本。
主权项：1.一种拼接式CGH半补偿检测大口径非连续非球面的检测方法，其特征在于，包括：激光干涉仪、CGH以及被检镜；所述激光干涉仪发出球面波；所述CGH放置在所述激光干涉仪的出光口前方，球面波经CGH之后被调制成非球面波前；根据两个非连续非球面方程对非连续非球面进行拟合，设计拟合非球面，根据拟合非球面设计CGH，若CGH的刻线密度过高，改变拟合非球面的系数，直至CGH条纹密度达到要求，得到最佳拟合非球面，设计出最佳CGH。使得CGH能够有效地检测整个非球面的表面形貌和误差情况，包括中心区域和边缘区域。对待检镜和CGH的位姿进行调节，使得待检镜中心区域测量的干涉条纹为零条纹，获得中心区域相对于拟合非球面的面形数据；逐步改变被测非连续非球面元件的位置，使边缘区域出现零条纹，获得边缘区域相对于拟合非球面的面形数据；通过算法将相对于拟合非球面的波前数据，转换为相对于待测非球面的面形数据。再通过拼接算法将各个区域面形进行拼接，进而获得待检镜的全口径面形信息。
全文数据：
权利要求：
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