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申请/专利权人：福州镓谷半导体有限公司
申请日：2024-03-27
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118230839A
主分类号：G16C20/10
分类号：G16C20/10;C23C16/52;G16C20/30
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本申请公开MOCVD设备维护排程方法、装置、设备及存储介质，涉及MOCVD生产领域；获取当前周期所有MOCVD设备的运行状态和历史排程参数；根据MOCVD设备的当前运行状态对历史排程参数进行更新，并与预设的维护标准进行逻辑对比，确定需要安排维护的候选MOCVD设备及维护时间；根据候选设备及维护时间建立排程维护表，根据在维数量阈值确定目标MOCVD设备；当目标设备到达对应的维护时间点时进行锁定并执行维护程序，在维护完成后更新排程维护表、对应运行状态和历史排程参数。该方案通过系统预设计算逻辑记录系统参数信息，并进行排程计算，提高了计算结果的精确度，在减少人力需求的同时实现统一管理。
主权项：1.一种MOCVD设备维护排程方法，其特征在于，所述方法包括：获取当前周期所有MOCVD设备的运行状态和历史排程参数；所述历史排程参数用于指示MOCVD设备的已使用情况，排程参数至少包括MOCVD设备的生产次数、金属有机源的消耗量和剩余量；根据所述MOCVD设备的当前运行状态对历史排程参数进行更新，并将更新后的排程参数与预设的维护标准进行逻辑对比，确定需要安排维护的候选MOCVD设备及维护时间；根据所述候选MOCVD设备及维护时间建立排程维护表，并根据MOCVD设备的在维数量阈值确定目标MOCVD设备；当所述目标MOCVD设备到达对应的维护时间点时，将所述目标MOCVD进行锁定并执行维护程序，在维护完成后更新所述排程维护表、对应运行状态和历史排程参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福州镓谷半导体有限公司 MOCVD设备维护排程方法、装置、设备及存储介质
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