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申请/专利权人：株式会社湖碧驰;株式会社奥斯维斯
申请日：2022-12-20
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118224970A
主分类号：G01B9/02055
分类号：G01B9/02055;G01B9/02;G01B11/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开一种校准方法，是光干涉断层摄影装置的校准方法，光干涉断层摄影装置包括：光源，其产生测量光；分束器，其将测量光分割为基准光和样本测量光；基准镜，其反射基准光以生成基准反射光；扫描部，其反射样本测量光以引导样本测量光；以及光检测器，其检测样本测量光在校准目标反射而形成的信号反射光和基准反射光重叠而形成的干涉光，以获得校准目标的表面和内部影像信号，所述校准方法包括：利用光干涉断层摄影装置扫描校准目标以获得校准目标的表面及内部的三维图像，并从获得的三维图像中提取校准目标的表面形状图像的步骤；以及根据校准目标的实际表面形状，对由光干涉断层摄影装置获得的校准目标的表面形状图像进行校准的步骤。
主权项：1.一种校准方法，是光干涉断层摄影装置的校准方法，所述光干涉断层摄影装置包括：光源10，其产生照射到校准目标T的表面的测量光L；分束器12，其将所述测量光L分割为基准光R和样本测量光L1；基准镜20，其反射所述基准光R以生成基准反射光R1；扫描部30，其反射所述样本测量光L1以向校准目标T引导样本测量光L1；以及光检测器40，其检测所述样本测量光L1在所述校准目标T反射而形成的信号反射光S和所述基准反射光R1重叠而形成的干涉光I，以获得校准目标T的表面和内部影像信号，所述校准方法的特征在于，包括：利用所述光干涉断层摄影装置扫描校准目标T以获得校准目标T的表面及内部的三维图像，并从获得的三维图像中提取所述校准目标T的表面形状图像的步骤；以及根据所述校准目标T的实际表面形状，对由光干涉断层摄影装置获得的校准目标T的表面形状图像进行校准的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社湖碧驰;株式会社奥斯维斯 光干涉断层摄影装置的校准方法
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