申请/专利权人:徐州博康信息化学品有限公司
申请日:2024-03-21
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN118221938A
主分类号:C08G73/12
分类号:C08G73/12;G03F7/00;G03F7/038
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.21#公开
摘要:本发明属于光固化感光材料技术领域,具体涉及一种聚酰亚胺、负性感光树脂组合物以及图案固化膜的制备方法。聚酰亚胺为末端含不饱和基团的共聚物,包括如下式I所示的结构:式I。负性感光树脂组合物包括:A聚酰亚胺树脂组合物;B光引发剂;C聚合度调节剂;D交联剂;其中,所述聚酰亚胺树脂组合物包括聚酰亚胺前体和如上所述聚酰亚胺。图案固化膜的制备方法,将上述负性感光树脂组合物涂布在基板上,经过匀胶、前烘、曝光、显影、固化,得到固化图案。本发明提供的负性感光树脂组合物提升了显影速率和显影留膜率时可以保证图形分辨率,同时通过聚合度调节剂优化固化聚合效果,得到良好的力学性能。
主权项:1.一种聚酰亚胺,其特征在于,所述聚酰亚胺为末端含不饱和基团的共聚物,所述聚酰亚胺包括如下式I所示结构: 其中,X1选自取代或未取代C6~C30的芳香族结构的四价有机基团;Y1选自取代或未取代的C6~C30的芳香族结构二价有机基团、取代或未取代的C1~C20脂肪烃结构的二价有机基团;A为C2~C20具有不饱和基团的二价有机基团;m大于0的正整数。
全文数据:
权利要求:
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