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申请/专利权人:中山大学
摘要:本申请公开了一种栅控晶体管及其制备方法,其中方法包括以下步骤:提供一底部栅极;在所述底部栅极上形成电解质介质层;所述电解质介质层为掺杂一定浓度氢离子的金属氧化物介质层;在所述电解质介质层上形成半导体沟道层,其中所述半导体沟道层掺杂有光致变色材料;在所述半导体沟道层上形成漏极与源极,得到栅控晶体管。本方法可以得到较好的长程突触可塑性的栅控晶体管。本申请可广泛应用于半导体技术领域。
主权项:1.一种栅控晶体管制备方法,其特征在于,包括:提供一底部栅极;在所述底部栅极上形成电解质介质层;所述电解质介质层为预设浓度氢离子的金属氧化物介质层;在所述电解质介质层上形成半导体沟道层,其中所述半导体沟道层掺杂有光致变色材料;在所述半导体沟道层上形成漏极与源极,得到栅控晶体管。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中山大学 一种栅控晶体管及其制备方法
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