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申请/专利权人：易安爱富科技有限公司
申请日：2023-11-22
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118223022A
主分类号：C23F1/16
分类号：C23F1/16
优先权：["20221221 KR 10-2022-0180007"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及一种氧化铟膜或含银金属膜蚀刻液组合物及其制备方法，根据本发明，可通过抑制下部膜受损并最大限度地减少偏差不良及残渣或析出物的产生，从而表现出优异的蚀刻特性。
主权项：1.一种氧化铟膜或含银金属膜蚀刻液组合物，其中，包含：氮化合物，硫酸盐，磺酸化合物，以及羧酸；其中，所述磺酸化合物包含：化学式1的化合物或其盐，以及化学式2的化合物或其盐；[化学式1] 在所述化学式1中，R1为C1～10烷基，[化学式2] 在所述化学式2中，R2为C1～10烷基苄基、苄基、氨基C1～10烷基、C1～10烷基或氨基苄基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易安爱富科技有限公司 氧化铟膜或含银金属膜蚀刻液组合物及其制备方法
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