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申请/专利权人：吉盛微(武汉)新材料科技有限公司
申请日：2023-10-31
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201101U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型涉及试片清洗蚀刻用工装，其包括底座和盖子，底座与盖子之间可拆卸连接，底座和盖子之间形成一连通外界的空腔，底座靠近盖子的一侧形成有多个第一条形槽，盖子靠近底座的一侧形成有多个第二条形槽，多个第一条形槽与多个第二条形槽一一对应，第一条形槽正对着对应的第二条形槽设置，以使试片卡嵌于第一条形槽和对应的第二条形槽中；首先将多个试片放置于底座上的多个第一条形槽上，再盖上盖子，使多个试片的顶部卡嵌于盖子上的多个第二条形槽中，连接底座和盖子，即完成了多个试片的装载过程，外界的药液进入底座和盖子之间形成的空腔与试片接触，从而完成蚀刻清洗的过程，单次可实现多个试片的清洗蚀刻工作，使用方便。
主权项：1.试片清洗蚀刻用工装，其特征在于，包括底座和盖子；所述底座与所述盖子之间可拆卸连接，所述底座和所述盖子之间形成一连通外界的空腔，所述底座靠近所述盖子的一侧形成有多个第一条形槽，所述盖子靠近所述底座的一侧形成有多个第二条形槽，多个所述第一条形槽与多个所述第二条形槽一一对应，所述第一条形槽正对着对应的所述第二条形槽设置，以使试片卡嵌于所述第一条形槽和对应的所述第二条形槽中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉盛微(武汉)新材料科技有限公司 试片清洗蚀刻用工装
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