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申请/专利权人：中国计量大学
申请日：2022-03-23
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114660131B
主分类号：G01N27/12
分类号：G01N27/12;C01B32/19;C01B32/198
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.07.12#实质审查的生效;2022.06.24#公开
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯的新型气体传感器。所述气体传感器中，以微型平整石墨基板为基础材料，通过高能激光加工手段，沿设计的路径进行加工，将加工路径中的石墨转化为石墨烯或其衍生物，加工路径之外的石墨不发生变化，加工后的结构构成一个气体传感器；其中石墨部分作为电极与外部电路相连，石墨烯部分作为气体测量单元进行气体浓度传感；其主要的工作机理是石墨烯或其衍生物在吸附气体后，电阻数值会发生变化，通过外置电路测量电阻阻值的改变量，可以得到气体浓度信息。所述气体传感器体积小、重量轻、制作方便、能够批量生产、与外部电路连接容易、可以集成在大规模集成电路中，在消费电子领域会产生极大的价值。
主权项：1.一种新型气体传感器，其特征在于：使用石墨作为基板，利用高能激光加工方式，能使外置电路测量的石墨基板电阻改变的任意加工路径，沿这种加工路径加工后，表面生成的石墨烯或其衍生物；利用石墨烯或其衍生物作为传感器的气体敏感单元，加工中留出部分石墨当作电极，外置电路与石墨基板的石墨电极连接，石墨烯衍生物吸附气体后电阻发生变化，外置电路可以测量石墨基板整体的电阻改变，获取石墨基板所处环境中的气体浓度信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量大学 一种使用高能激光制备石墨烯气体传感器的方法
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