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申请/专利权人：清华大学
申请日：2023-11-02
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN117491400B
主分类号：G01N23/20058
分类号：G01N23/20058
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开
摘要：本申请涉及一种消减热漫散射和非弹性散射的扫描透射衍射方法及装置，其中，方法包括：采集二维样品平面内规律排列或随机分布的扫描点的会聚束衍射信息，并根据会聚束衍射信息得到包含有扫描位置和扫描位置对应衍射信息的实验数据；根据实验数据计算位置平均的会聚束衍射，并在实验数据中每个扫描位置减去会聚束衍射，得到数据集；在四维扫描透射衍射分析或叠层成像的重构过程中减去会聚束衍射，使得利用数据集进行分析或重构，获得样品的结构信息，以消减实验数据中热漫散射和非弹性散射的贡献。由此，解决了相关技术中，由于热漫散射和非弹性散射对叠层成像技术的影响，导致重构过程存在误差，降低了结构分析精度和厚样品的叠层重构效率等问题。
主权项：1.一种消减热漫散射和非弹性散射的扫描透射衍射方法，其特征在于，包括以下步骤：采集二维样品平面内规律排列或随机分布的扫描点的会聚束衍射信息，并根据所述会聚束衍射信息得到包含有扫描位置和扫描位置对应衍射信息的实验数据；根据所述实验数据计算位置平均的会聚束衍射，并在所述实验数据中每个扫描位置减去所述会聚束衍射，得到数据集；在四维扫描透射衍射分析或叠层成像的重构过程中，减去所述会聚束衍射，使得利用所述数据集进行分析或重构，获得样品的结构信息，以消减实验数据中热漫散射和非弹性散射的贡献；其中，所述实验数据包括加速能量、会聚半角、扫描步长和欠焦量中的至少一项；其中，所述在四维扫描透射衍射分析或叠层成像的重构过程中，减去所述会聚束衍射，使得利用所述数据集进行分析或重构，获得样品的结构信息，以消减实验数据中热漫散射和非弹性散射的贡献，包括：计算正向传播过程模拟数据和所述数据集的损失函数；求解所述损失函数关于优化参数的梯度；根据所述梯度优化物函数、电子束函数和其他至少一个目标待优化参数，直至满足预设迭代终止条件，得到最终物函数和最终电子束函数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 消减热漫散射和非弹性散射的扫描透射衍射方法及装置
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