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申请/专利权人：宁波舜宇光电信息有限公司
申请日：2020-12-22
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114659473B
主分类号：G01B11/30
分类号：G01B11/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.07.12#实质审查的生效;2022.06.24#公开
摘要：本申请提供一种平整度检测装置及检测系统。平整度检测装置包括：检测平台，具有上表面和下表面；出光孔，暴露于所述检测装置的上表面；光源，位于所述出光孔的底部。本申请中，利用光在小间隙能够发生折射和衍射的原理，在暗态环境下观察光线的出射来判断是否存在较难观察到的微小间隙，通过光的出射来进行平整度检测。本申请的平整度检测装置可得到更精准的检测效果，且检测操作更简便。
主权项：1.一种平整度检测装置，包括：吸嘴标准件，包括：固定端，与驱动装置连接；底部承靠面，具有平整的下表面，所述底部承靠面厚度均匀且所述底部承靠面的下表面平整度偏差小于±0.1％；连接杆，连接所述固定端和所述底部承靠面；检测平台，具有相互平行的上表面和下表面；出光孔，暴露于所述检测平台的上表面；光源，设置于所述出光孔内；其中，在所述驱动装置的驱动下，所述底部承靠面能够覆盖所述出光孔，通过所述吸嘴标准件的底部承靠面水平状态来判断所述驱动装置的水平状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波舜宇光电信息有限公司 平整度检测装置、系统及检测方法
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