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申请/专利权人：深圳市华腾半导体设备有限公司
申请日：2021-09-24
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN113866601B
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开
摘要：本申请涉及一种用于芯片的点测设备、点测系统及其点测方法，包括机架，所述机架上设置有探针装置和设置于探针装置一侧的承载装置；所述机架上还设置有位于探针装置另一侧的视觉定位装置，所述视觉定位装置包括视觉件，所述承载装置相对于机架具有扫描位；所述承载装置位于扫描位时，所述视觉件能够获取承载装置上所有芯片的定位并输出定位图像；所述承载装置能够将多个芯片逐个移动至探针装置的检测端抵接。本申请具有提高点测设备在进行芯片验光时的工作效率的效果。
主权项：1.一种用于芯片的点测设备，包括机架1，所述机架1上设置有探针装置3和设置于探针装置3一侧的承载装置2；其特征在于，所述机架1上还设置有位于探针装置3另一侧的视觉定位装置5，所述视觉定位装置5包括视觉件53，所述承载装置2相对于机架1具有扫描位；所述机架上还设置有收光装置；所述承载装置2位于扫描位时，所述视觉件53能够获取承载装置2上所有芯片的定位并输出定位图像；所述承载装置2能够将多个芯片逐个移动至探针装置3的检测端抵接；所述视觉件53相对于机架1具有拍摄位和间歇位；所述视觉定位装置5能够在拍摄位和间歇位之间往复移动；处于拍摄位的所述视觉件53与处于扫描位的所述承载装置2形成相适配的第一拍摄距离；所述探针装置3下方具有供承载装置2水平移动的检测移位区，处于间歇位的视觉件53处于探针装置3正上方，且处于间歇位的视觉件53与处于检测移位区的承载装置2形成相适配的第二拍摄距离；所述收光装置4相对于机架1具有收光位和避让位，处于收光位的所述收光装置4处于探针装置3正上方；处于避让位的所述收光装置4位于视觉件53的竖向拍摄视野之外；所述视觉定位装置5位于间歇位以及所述收光装置4位于避让位时，所述视觉定位装置5用于获取当前待点测芯片和探针装置3之间的重合状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市华腾半导体设备有限公司 用于芯片的点测设备、点测系统及其点测方法
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