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申请/专利权人：鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司
申请日：2023-10-18
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201096U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片热处理气路调节装置，包括第一气路组件与第二气路组件，所述第一气路组件上设有多个第一气孔，所述第二气路组件上设有多个第二气孔，所述第一气孔与第二气孔均为长腰孔，所述第一气路组件上设有多个限位槽，所述第二气路组件上设有多个滑块；本实用新型结构简单，设计新颖，可实现气路内工艺气体流量的调节，操作方便快捷，提高了工作效率。
主权项：1.一种晶圆片热处理气路调节装置，其特征在于：包括第一气路组件（1）与第二气路组件（2），所述第一气路组件（1）上设有多个第一气孔（11），所述第二气路组件（2）上设有多个第二气孔（21），所述第一气孔（11）与第二气孔（21）均为长腰孔，所述第一气路组件（1）上设有多个限位槽（12），所述第二气路组件（2）上设有多个滑块（22），所述限位槽（12）为弧形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司 一种晶圆片热处理气路调节装置
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