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【实用新型】基于原子力显微镜的在线检测平台_宁波海兹恩科技有限公司_202322533314.5 

申请/专利权人:宁波海兹恩科技有限公司

申请日:2023-09-18

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN221199721U

主分类号:G01Q60/24

分类号:G01Q60/24;B23Q17/24

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权

摘要:本申请涉及工件表面数据观测领域,更具体地涉及基于原子力显微镜的在线检测平台,其中所述基于原子力显微镜的在线检测平台,包括一移动板,所述移动板被设于外部机床的主轴箱的顶部;一第一驱动部件,所述第一驱动部件位于所述主轴箱的顶部,并与所述移动板的一端相连,且所述第一驱动部件被设置能够推动所述移动板横向移动预定距离;一架体组件,所述架体组件被设于所述移动板上;一扫描头,所述扫描头被固定在所述架体组件上;以及一光学观察组件,所述光学观察组件与所述架体组件转动连接。本实用新型能通过有效地利用其自身的结构配置实现能够安装在车床上、工件表面数据检测便捷、实用性高的优势。

主权项:1.一种基于原子力显微镜的在线检测平台,其特征在于,所述基于原子力显微镜的在线检测平台包括:一移动板,所述移动板被设于外部机床的主轴箱的顶部;一第一驱动部件,所述第一驱动部件位于所述主轴箱的顶部,并与所述移动板的一端相连,且所述第一驱动部件被设置能够推动所述移动板横向移动预定距离;一架体组件,所述架体组件被设于所述移动板上;一扫描头,所述扫描头被固定在所述架体组件上;以及一光学观察组件,所述光学观察组件与所述架体组件转动连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 宁波海兹恩科技有限公司 基于原子力显微镜的在线检测平台

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